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一种半导体晶圆加工用槽式超声清洗机
被引：0
申请号：
CN202210988411.0
申请日：
2022-08-17
公开(公告)号：
CN115069670B
公开(公告)日：
2022-09-20
发明(设计)人：
周训丙
杨仕品
申请人：
申请人地址：
215316 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
IPC主分类号：
B08B312
IPC分类号：
B08B1102
H01L2167
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-20 | 公开 | 公开 |
| 2022-11-11 | 授权 | 授权 |