多晶硅制造装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910127763.1

申请日：

2009-03-25

公开(公告)号：

CN101544372A

公开(公告)日：

2009-09-30

发明(设计)人：

远藤俊秀手计昌之石井敏由记坂口昌晃

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C01B33035

IPC分类号：

C30B2814 C30B2906

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101038687773 IPC(主分类):C01B 33/035 专利申请号:2009101277631 申请日:20090325
2013-01-09	授权	授权
2009-09-30	公开	公开

共 50 条

[1]

多晶硅制造装置 [P].

远藤俊秀 ;

手计昌之 ;

石井敏由记 ;

坂口昌晃 .

中国专利 :CN101613106A ,2009-12-30

[2]

多晶硅制造系统、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法 [P].

祢津茂义 ;

小黑晓二 ;

清水孝明 ;

黑泽靖志 ;

久米史高 .

中国专利 :CN102498063A ,2012-06-13

[3]

多晶硅的制造方法、多晶硅的制造装置、和多晶硅 [P].

漆原诚 ;

水岛一树 .

中国专利 :CN101956232B ,2011-01-26

[4]

多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法 [P].

黑泽靖志 ;

祢津茂义 .

中国专利 :CN103328380A ,2013-09-25

[5]

多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法 [P].

黑泽靖志 ;

祢津茂义 ;

星野成大 .

中国专利 :CN103702938B ,2014-04-02

[6]

多晶硅制造装置 [P].

朴成殷 ;

金知雄 ;

李熙东 .

中国专利 :CN108025918A ,2018-05-11

[7]

多晶硅制造用反应炉、多晶硅制造装置、多晶硅的制造方法、以及多晶硅棒或多晶硅块 [P].

祢津茂义 ;

星野成大 ;

冈田哲郎 ;

齐藤弘 .

中国专利 :CN111153407A ,2020-05-15

[8]

多晶硅制造装置 [P].

朴成殷 ;

李熙东 ;

金知雄 .

中国专利 :CN107921403A ,2018-04-17

[9]

多晶硅制造用反应炉、多晶硅制造装置、多晶硅的制造方法、以及多晶硅棒或多晶硅块 [P].

祢津茂义 ;

星野成大 ;

冈田哲郎 ;

齐藤弘 .

中国专利 :CN106573784B ,2017-04-19

[10]

多晶硅制造装置 [P].

星野成大 ;

冈田哲郎 ;

石田昌彦 .

中国专利 :CN111591998A ,2020-08-28

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