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三重图形化的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610787086.6
申请日：
2016-08-31
公开(公告)号：
CN107785242A
公开(公告)日：
2018-03-09
发明(设计)人：
沈忆华 余云初
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
H01L21033
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
吴敏
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-04-03 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/033 申请日:20160831
2020-02-07 授权 授权
2018-03-09 公开 公开
共 50 条
[1]
自对准三重图形化方法 [P]. 
李凤莲 ;
隋运奇 .
中国专利 :CN103794475A ,2014-05-14
[2]
双重图形化方法及双重图形化结构 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN109994379B ,2019-07-09
[3]
双重图形化的方法 [P]. 
王彦 ;
张城龙 ;
张海洋 .
中国专利 :CN107785252A ,2018-03-09
[4]
双重图形化的方法 [P]. 
张城龙 ;
郑二虎 .
中国专利 :CN106960816A ,2017-07-18
[5]
双重图形化方法 [P]. 
张海洋 ;
孙武 .
中国专利 :CN102468136A ,2012-05-23
[6]
双重图形化方法 [P]. 
袁伟 .
中国专利 :CN102129968A ,2011-07-20
[7]
双重图形化方法 [P]. 
张海洋 ;
何其旸 .
中国专利 :CN103594337B ,2014-02-19
[8]
双重图形化方法 [P]. 
洪中山 .
中国专利 :CN102446703A ,2012-05-09
[9]
双重图形化方法 [P]. 
李凡 ;
张海洋 .
中国专利 :CN102478764A ,2012-05-30
[10]
双重图形化方法 [P]. 
洪中山 .
中国专利 :CN102446704B ,2012-05-09
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