基于模型预测控制的电感耦合等离子体产生系统的整定方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910584854.1

申请日：

2019-07-01

公开(公告)号：

CN110308654A

公开(公告)日：

2019-10-08

发明(设计)人：

刘彦明刘晓涛王俊杰李小平闫波宋黎浩杨杰邓伟锋

申请人：

申请人地址：

710126 陕西省西安市长安区西沣路兴隆段266号

IPC主分类号：

G05B1304

IPC分类号：

代理机构：

西安知诚思迈知识产权代理事务所(普通合伙) 61237

代理人：

麦春明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 13/04 申请日:20190701
2020-06-05	授权	授权
2019-10-08	公开	公开

共 50 条

[1]

产生电感耦合等离子体的设备及其方法 [P].

权光虎 ;

沈载琦 .

中国专利 :CN1630936A ,2005-06-22

[2]

基于电感耦合等离子体技术的分析方法 [P].

敖腾翔 ;

俞晓峰 ;

喻正宁 ;

洪波 ;

陈明顺 ;

崔俊红 ;

伍红莲 .

中国专利 :CN114324307B ,2024-02-13

[3]

基于电感耦合等离子体技术的分析方法 [P].

敖腾翔 ;

俞晓峰 ;

喻正宁 ;

洪波 ;

陈明顺 ;

崔俊红 ;

伍红莲 .

中国专利 :CN114324307A ,2022-04-12

[4]

电感耦合等离子体光源的供气系统 [P].

刘召贵 ;

张树龙 ;

夏义峰 .

中国专利 :CN201576658U ,2010-09-08

[5]

电感耦合等离子体光源的供气系统 [P].

刘召贵 ;

张树龙 ;

夏义峰 .

中国专利 :CN101718699A ,2010-06-02

[6]

电感耦合等离子体处理装置与等离子体产生装置 [P].

倪图强 ;

庞晓贝 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN108271307A ,2018-07-10

[7]

电感耦合等离子体产生装置及等离子体加工设备 [P].

常楷 .

中国专利 :CN107864545B ,2018-03-30

[8]

电感耦合等离子体处理装置及其控制方法 [P].

林正焕 .

中国专利 :CN103841743A ,2014-06-04

[9]

电感耦合等离子体的自动稳定控制装置 [P].

杜江 ;

张德元 .

中国专利 :CN204887663U ,2015-12-16

[10]

电感耦合等离子体仿真模型的验证方法和装置 [P].

孙金海 .

中国专利 :CN115544774A ,2022-12-30

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