确定衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980038174.8

申请日：

2019-05-17

公开(公告)号：

CN112236724A

公开(公告)日：

2021-01-15

发明(设计)人：

L·特里波迪帕特里克·华纳 G·格热拉 M·哈伊赫曼达 F·法哈德扎德 P·A·J·廷尼曼斯 S·A·米德尔布鲁克斯安卓尼斯·科内利斯·马修斯·科普曼弗兰克·斯塔尔斯布伦南·彼得森 A·B·范奥斯汀

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王璐璐

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-15	公开	公开
2021-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190517

共 50 条

[1]

用于确定衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

P·A·J·廷尼曼斯 ;

V·T·坦纳 ;

A·J·登博夫 ;

H·A·J·克拉默 ;

P·沃纳尔 ;

G·格泽拉 ;

M·J·J·贾克 .

中国专利 :CN112005157A ,2020-11-27

[2]

用于确定在衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

P·A·J·廷尼曼斯 ;

帕特里克·华纳 ;

V·T·滕纳 ;

M·范德斯卡 .

:CN118363275A ,2024-07-19

[3]

用于确定在衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

P·A·J·廷尼曼斯 ;

帕特里克·华纳 ;

V·T·滕纳 ;

M·范德斯卡 .

中国专利 :CN112513742A ,2021-03-16

[4]

用于确定在衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

P·A·J·廷尼曼斯 ;

帕特里克·华纳 ;

V·T·滕纳 ;

M·范德斯卡 .

:CN112513742B ,2024-05-24

[5]

用于确定与衬底上的一个或多个结构有关的特性的量测装置和方法 [P].

M·加西亚·格兰达 ;

S·E·斯蒂恩 ;

E·J·A·布劳沃 ;

B·P·B·西格斯 ;

P-Y·J·Y·吉特 ;

F·斯塔尔斯 ;

P·J·M·范阿德里切姆 .

:CN117518733A ,2024-02-06

[6]

用于确定与衬底上的一个或多个结构有关的特性的量测装置和方法 [P].

M·加西亚·格兰达 ;

S·E·斯蒂恩 ;

E·J·A·布劳沃 ;

B·P·B·西格斯 ;

P-Y·J·Y·吉特 ;

F·斯塔尔斯 ;

P·J·M·范阿德里切姆 .

中国专利 :CN112424695A ,2021-02-26

[7]

使用一个或更多个神经网络确定的通知 [P].

S·帕德什 ;

P·P·科塔里 ;

V·V·盖克瓦德 .

中国专利 :CN113723586A ,2021-11-30

[8]

使用一个或更多个神经网络的交互确定 [P].

P·P·科塔里 ;

S·帕德什 ;

V·V·盖克瓦德 .

中国专利 :CN113842644A ,2021-12-28

[9]

使用一个或更多个神经网络的姿态确定 [P].

J·特伦布莱 ;

S·伯奇菲尔德 ;

T·李 .

中国专利 :CN114556424A ,2022-05-27

[10]

用于确定衬底上的结构的感兴趣的特性的量测设备与方法 [P].

G·J·H·布鲁斯阿德 ;

P·W·斯摩奥伦堡 ;

T·J·克嫩 ;

N·基鹏 ;

P·D·范福尔斯特 ;

S·B·罗博尔 .

中国专利 :CN111542783A ,2020-08-14

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