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用于确定衬底上的结构的感兴趣的特性的量测设备与方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201880084670.2
申请日
:
2018-12-04
公开(公告)号
:
CN111542783A
公开(公告)日
:
2020-08-14
发明(设计)人
:
G·J·H·布鲁斯阿德
P·W·斯摩奥伦堡
T·J·克嫩
N·基鹏
P·D·范福尔斯特
S·B·罗博尔
申请人
:
申请人地址
:
荷兰维德霍温
IPC主分类号
:
G03F720
IPC分类号
:
G01N2147
G01J302
G01J336
G01N2195
G01N21956
G03F900
G01J328
代理机构
:
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
:
闫红
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-09-08
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20181204
2020-08-14
公开
公开
共 50 条
[1]
量测设备和确定感兴趣的特性的方法
[P].
A·J·登博夫
论文数:
0
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0
A·J·登博夫
;
R·J·A·范登厄特拉尔
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R·J·A·范登厄特拉尔
.
中国专利
:CN111316172A
,2020-06-19
[2]
确定感兴趣的讲话者的助听器
[P].
M·S·佩德森
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M·S·佩德森
;
J·詹森
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J·詹森
;
J·M·德哈恩
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J·M·德哈恩
;
P·霍昂
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P·霍昂
.
中国专利
:CN115086849A
,2022-09-20
[3]
确定摄影函数的感兴趣区域
[P].
瑞安·盖斯
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瑞安·盖斯
;
杨瑞多
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杨瑞多
;
马克·勒瓦
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马克·勒瓦
.
中国专利
:CN113330447A
,2021-08-31
[4]
用于确定衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法
[P].
P·A·J·廷尼曼斯
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P·A·J·廷尼曼斯
;
V·T·坦纳
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V·T·坦纳
;
A·J·登博夫
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A·J·登博夫
;
H·A·J·克拉默
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H·A·J·克拉默
;
P·沃纳尔
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P·沃纳尔
;
G·格泽拉
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G·格泽拉
;
M·J·J·贾克
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M·J·J·贾克
.
中国专利
:CN112005157A
,2020-11-27
[5]
确定衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法
[P].
L·特里波迪
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L·特里波迪
;
帕特里克·华纳
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帕特里克·华纳
;
G·格热拉
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G·格热拉
;
M·哈伊赫曼达
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M·哈伊赫曼达
;
F·法哈德扎德
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F·法哈德扎德
;
P·A·J·廷尼曼斯
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P·A·J·廷尼曼斯
;
S·A·米德尔布鲁克斯
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S·A·米德尔布鲁克斯
;
安卓尼斯·科内利斯·马修斯·科普曼
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安卓尼斯·科内利斯·马修斯·科普曼
;
弗兰克·斯塔尔斯
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弗兰克·斯塔尔斯
;
布伦南·彼得森
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布伦南·彼得森
;
A·B·范奥斯汀
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A·B·范奥斯汀
.
中国专利
:CN112236724A
,2021-01-15
[6]
用于确定在衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法
[P].
P·A·J·廷尼曼斯
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
P·A·J·廷尼曼斯
;
帕特里克·华纳
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ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
帕特里克·华纳
;
V·T·滕纳
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
V·T·滕纳
;
M·范德斯卡
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
M·范德斯卡
.
:CN118363275A
,2024-07-19
[7]
用于确定在衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法
[P].
P·A·J·廷尼曼斯
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P·A·J·廷尼曼斯
;
帕特里克·华纳
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帕特里克·华纳
;
V·T·滕纳
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V·T·滕纳
;
M·范德斯卡
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M·范德斯卡
.
中国专利
:CN112513742A
,2021-03-16
[8]
用于确定在衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法
[P].
P·A·J·廷尼曼斯
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
P·A·J·廷尼曼斯
;
帕特里克·华纳
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
帕特里克·华纳
;
V·T·滕纳
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
V·T·滕纳
;
M·范德斯卡
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
M·范德斯卡
.
:CN112513742B
,2024-05-24
[9]
用于监测感兴趣的气体种类的水平的方法和装置
[P].
Z-X·江
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Z-X·江
;
A·皮埃里
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A·皮埃里
.
中国专利
:CN104937395A
,2015-09-23
[10]
确定结构特性的方法和量测设备
[P].
J·F·德波尔
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J·F·德波尔
;
V·T·滕纳
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V·T·滕纳
;
C·弥赛西
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C·弥赛西
;
A·J·登鲍埃夫
论文数:
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A·J·登鲍埃夫
.
中国专利
:CN112204473A
,2021-01-08
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