确定结构特性的方法和量测设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980036860.1

申请日：

2019-03-19

公开(公告)号：

CN112204473A

公开(公告)日：

2021-01-08

发明(设计)人：

J·F·德波尔 V·T·滕纳 C·弥赛西 A·J·登鲍埃夫

申请人：

申请人地址：

荷兰阿姆斯特丹

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

闫红

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-08	公开	公开
2021-01-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190319

共 50 条

[1]

量测设备和确定感兴趣的特性的方法 [P].

A·J·登博夫 ;

R·J·A·范登厄特拉尔 .

中国专利 :CN111316172A ,2020-06-19

[2]

量测方法、量测设备和器件制造方法 [P].

R·奎因塔尼拉 ;

S·达尼卢克 .

中国专利 :CN107430352A ,2017-12-01

[3]

确定衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

L·特里波迪 ;

帕特里克·华纳 ;

G·格热拉 ;

M·哈伊赫曼达 ;

F·法哈德扎德 ;

P·A·J·廷尼曼斯 ;

S·A·米德尔布鲁克斯 ;

安卓尼斯·科内利斯·马修斯·科普曼 ;

弗兰克·斯塔尔斯 ;

布伦南·彼得森 ;

A·B·范奥斯汀 .

中国专利 :CN112236724A ,2021-01-15

[4]

量测设备和用于测量结构的方法和光刻系统 [P].

N·潘迪 .

中国专利 :CN109643068B ,2019-04-16

[5]

用于确定衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

P·A·J·廷尼曼斯 ;

V·T·坦纳 ;

A·J·登博夫 ;

H·A·J·克拉默 ;

P·沃纳尔 ;

G·格泽拉 ;

M·J·J·贾克 .

中国专利 :CN112005157A ,2020-11-27

[6]

用于确定衬底上的结构的感兴趣的特性的量测设备与方法 [P].

G·J·H·布鲁斯阿德 ;

P·W·斯摩奥伦堡 ;

T·J·克嫩 ;

N·基鹏 ;

P·D·范福尔斯特 ;

S·B·罗博尔 .

中国专利 :CN111542783A ,2020-08-14

[7]

量测方法、量测设备和器件制造方法 [P].

理查德·金塔尼利亚 ;

A·J·登鲍埃夫 .

中国专利 :CN108431692A ,2018-08-21

[8]

用于确定在衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

P·A·J·廷尼曼斯 ;

帕特里克·华纳 ;

V·T·滕纳 ;

M·范德斯卡 .

:CN112513742B ,2024-05-24

[9]

用于确定在衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

P·A·J·廷尼曼斯 ;

帕特里克·华纳 ;

V·T·滕纳 ;

M·范德斯卡 .

:CN118363275A ,2024-07-19

[10]

用于确定在衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

P·A·J·廷尼曼斯 ;

帕特里克·华纳 ;

V·T·滕纳 ;

M·范德斯卡 .

中国专利 :CN112513742A ,2021-03-16

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