用于确定在衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980051246.2

申请日：

2019-07-01

公开(公告)号：

CN112513742B

公开(公告)日：

2024-05-24

发明(设计)人：

P·A·J·廷尼曼斯帕特里克·华纳 V·T·滕纳 M·范德斯卡

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王益

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-24	授权	授权

共 50 条

[1]

用于确定在衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

P·A·J·廷尼曼斯 ;

帕特里克·华纳 ;

V·T·滕纳 ;

M·范德斯卡 .

:CN118363275A ,2024-07-19

[2]

用于确定在衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

P·A·J·廷尼曼斯 ;

帕特里克·华纳 ;

V·T·滕纳 ;

M·范德斯卡 .

中国专利 :CN112513742A ,2021-03-16

[3]

用于确定衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

P·A·J·廷尼曼斯 ;

V·T·坦纳 ;

A·J·登博夫 ;

H·A·J·克拉默 ;

P·沃纳尔 ;

G·格泽拉 ;

M·J·J·贾克 .

中国专利 :CN112005157A ,2020-11-27

[4]

确定衬底上的一个或更多个结构的特性的量测设备和方法 [P].

L·特里波迪 ;

帕特里克·华纳 ;

G·格热拉 ;

M·哈伊赫曼达 ;

F·法哈德扎德 ;

P·A·J·廷尼曼斯 ;

S·A·米德尔布鲁克斯 ;

安卓尼斯·科内利斯·马修斯·科普曼 ;

弗兰克·斯塔尔斯 ;

布伦南·彼得森 ;

A·B·范奥斯汀 .

中国专利 :CN112236724A ,2021-01-15

[5]

用于确定衬底上的结构的感兴趣的特性的量测设备与方法 [P].

G·J·H·布鲁斯阿德 ;

P·W·斯摩奥伦堡 ;

T·J·克嫩 ;

N·基鹏 ;

P·D·范福尔斯特 ;

S·B·罗博尔 .

中国专利 :CN111542783A ,2020-08-14

[6]

确定结构特性的方法和量测设备 [P].

J·F·德波尔 ;

V·T·滕纳 ;

C·弥赛西 ;

A·J·登鲍埃夫 .

中国专利 :CN112204473A ,2021-01-08

[7]

量测设备和确定感兴趣的特性的方法 [P].

A·J·登博夫 ;

R·J·A·范登厄特拉尔 .

中国专利 :CN111316172A ,2020-06-19

[8]

检查衬底的方法、量测设备和光刻系统 [P].

T·W·图克 ;

A·辛格 ;

G·范德祖 .

中国专利 :CN109844646A ,2019-06-04

[9]

检查衬底的方法、量测设备和光刻系统 [P].

T·W·图克 ;

A·辛格 ;

G·范德祖 .

中国专利 :CN111736434A ,2020-10-02

[10]

检查衬底的方法、量测设备和光刻系统 [P].

T·W·图克 ;

A·辛格 ;

G·范德祖 .

:CN111736434B ,2024-09-27

← 1 2 3 4 5 →