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化学气相沉积或外延层生长反应器及其基片托盘和支撑轴
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201520681445.0
申请日：
2015-09-06
公开(公告)号：
CN204982132U
公开(公告)日：
2016-01-20
发明(设计)人：
姜勇
郑振宇
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
C30B2512
IPC分类号：
C23C16458
代理机构：
上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249
代理人：
徐雯琼;张静洁
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-05 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C30B 25/12 变更事项:专利权人 变更前:中微半导体设备（上海）有限公司 变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 |
| 2016-01-20 | 授权 | 授权 |