一种MOS器件的掺杂方法

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专利类型
发明
申请号
CN201310501100.8
申请日
2013-10-22
公开(公告)号
CN103594375B
公开(公告)日
2014-02-19
发明(设计)人
丛国芳
申请人
申请人地址
213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇东门大街67号
IPC主分类号
H01L21336
IPC分类号
H01L21266
代理机构
南京天翼专利代理有限责任公司 32112
代理人
黄明哲
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
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