一种半导体封装晶圆切割系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202020920684.8
申请日
2020-05-27
公开(公告)号
CN213137359U
公开(公告)日
2021-05-07
发明(设计)人
张志恒
申请人
申请人地址
518001 广东省深圳市罗湖区国威路72号
IPC主分类号
B28D504
IPC分类号
B28D704 B28D700
代理机构
代理人
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体封装晶圆切割结构 [P]. 
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[2]
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李典华 .
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[3]
一种半导体封装的晶圆切割装置 [P]. 
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于丽云 ;
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刘美交 ;
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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董强 ;
李典华 .
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