一种双面抛光晶片的加工方法

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专利类型
发明
申请号
CN202210768342.2
申请日
2022-07-01
公开(公告)号
CN115338694B
公开(公告)日
2024-02-02
发明(设计)人
林骞 余雅俊 占俊杰 徐良 刘建哲
申请人
金华博蓝特新材料有限公司
申请人地址
321000 浙江省金华市婺城区秋滨街道南二环西路2688号1#厂房1楼南侧
IPC主分类号
B24B1/00
IPC分类号
B24B7/22 B24B37/10 B24B29/02
代理机构
北京辰权知识产权代理有限公司 11619
代理人
佟林松
法律状态
专利权质押登记、变更及注销
国省代码
浙江省 金华市
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共 50 条
[1]
一种双面抛光晶片的加工方法 [P]. 
林骞 ;
余雅俊 ;
占俊杰 ;
徐良 ;
刘建哲 .
中国专利 :CN115338694A ,2022-11-15
[2]
一种双面抛光蓝宝石晶片的加工方法 [P]. 
左洪波 ;
杨鑫宏 ;
张学军 ;
袁志勇 .
中国专利 :CN105313234B ,2016-02-10
[3]
一种SiC晶片的快速双面机械抛光方法 [P]. 
陈秀芳 ;
徐现刚 ;
杨祥龙 ;
彭燕 ;
胡小波 ;
王瑞琪 .
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[4]
一种双面抛光蓝宝石晶片的加工装置 [P]. 
左洪波 ;
杨鑫宏 ;
张学军 ;
袁志勇 .
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[5]
一种磷化镓晶片双面抛光方法 [P]. 
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杨剑 ;
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[6]
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[7]
一种半绝缘砷化镓晶片双面抛光方法 [P]. 
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[8]
用双面抛光加工半导体晶片的方法 [P]. 
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H·F·埃瑞克 ;
T·M·拉根 ;
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[9]
硅晶片的双面抛光方法 [P]. 
谷本龙一 ;
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[10]
一种蓝宝石双面抛光晶片的加工工艺 [P]. 
莫康 ;
郑贤良 ;
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