一种晶圆片翻膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310367712.6

申请日：

2023-04-07

公开(公告)号：

CN116313982B

公开(公告)日：

2024-06-11

发明(设计)人：

孙勇肖海苹徐志刚

申请人：

深圳市博辉特科技有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙华区观湖街道樟坑径社区上围村宝业路6号厂房1101栋

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/687 H01L21/68 H01L21/67

代理机构：

北京科创易佰知识产权代理事务所(普通合伙) 16113

代理人：

路忠琴

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-11	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆片翻膜方法、定位装置 [P].

祝之辉 ;

王飞 ;

蔡勤发 .

中国专利 :CN106653956B ,2017-05-10

[2]

一种晶圆片覆膜装置及晶圆裂片装置 [P].

胡仲波 ;

冯永 ;

李健儿 ;

蒋红全 ;

周建余 ;

敬春云 .

中国专利 :CN114678305A ,2022-06-28

[3]

一种晶圆片的覆膜装置 [P].

张雄 ;

辛嘉伟 ;

陈辉雄 ;

何豪文 .

中国专利 :CN221632521U ,2024-08-30

[4]

一种激光晶圆切割用晶圆片的贴膜装置 [P].

巩铁建 ;

陶为银 .

中国专利 :CN213056367U ,2021-04-27

[5]

一种晶圆翻面倒片装置 [P].

齐风 ;

陈健华 ;

张淳 ;

吕杰 ;

李伦 ;

许春雷 ;

肖帅 ;

张威 ;

武卫 ;

刘园 ;

孙晨光 ;

王彦君 .

中国专利 :CN213905327U ,2021-08-06

[6]

晶圆片扩膜机 [P].

李志卫 ;

张仕俊 .

中国专利 :CN113035747A ,2021-06-25

[7]

一种晶圆片换片装置 [P].

旷贤国 ;

李佳晖 .

中国专利 :CN221282067U ,2024-07-05

[8]

一种晶圆片叠片装置 [P].

陈飞 ;

孙月平 .

中国专利 :CN216624223U ,2022-05-27

[9]

一种晶圆片自动贴膜机 [P].

王炫铭 .

中国专利 :CN115027047A ,2022-09-09

[10]

一种气动晶圆片揭膜组件 [P].

张梦 ;

张珺 ;

顾梦甜 .

中国专利 :CN120878592A ,2025-10-31

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