晶圆片翻膜方法、定位装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510742550.5

申请日：

2015-11-04

公开(公告)号：

CN106653956B

公开(公告)日：

2017-05-10

发明(设计)人：

祝之辉王飞蔡勤发

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-22

IPC主分类号：

H01L3300

IPC分类号：

H01L2167 H01L2168

代理机构：

北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315

代理人：

许志勇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-05	授权	授权
2017-05-10	公开	公开
2017-06-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101724583709 IPC(主分类):H01L 33/00 专利申请号:2015107425505 申请日:20151104

共 50 条

[1]

晶圆片定位装置的定位方法 [P].

王建波 ;

王胜利 ;

胡泓 .

中国专利 :CN100508158C ,2008-02-20

[2]

一种晶圆片翻膜装置 [P].

孙勇 ;

肖海苹 ;

徐志刚 .

中国专利 :CN116313982B ,2024-06-11

[3]

晶圆片平边定位装置 [P].

李瑞 .

中国专利 :CN118763041A ,2024-10-11

[4]

一种晶圆片定位装置 [P].

刘姣龙 ;

刘建伟 ;

刘园 ;

武卫 ;

由佰玲 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

祝斌 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

袁祥龙 ;

张宏杰 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN213905333U ,2021-08-06

[5]

具有晶圆片定位功能的晶圆片承载装置 [P].

张容华 ;

郭大豪 ;

张茂展 .

中国专利 :CN119905441A ,2025-04-29

[6]

具有晶圆片定位功能的晶圆片承载装置 [P].

张容华 ;

郭大豪 ;

张茂展 .

中国专利 :CN221176190U ,2024-06-18

[7]

一种晶圆片同心定位装置及定位方法 [P].

钟夏华 ;

郑鹏 ;

魏纯 .

中国专利 :CN119480742A ,2025-02-18

[8]

晶圆清洗设备及其晶圆定位装置、晶圆定位方法 [P].

李幸夫 ;

王锐廷 ;

赵宏宇 ;

南建辉 ;

杨斌 .

中国专利 :CN113539918A ,2021-10-22

[9]

晶圆清洗设备及其晶圆定位装置、晶圆定位方法 [P].

李幸夫 ;

王锐廷 ;

赵宏宇 ;

南建辉 ;

杨斌 .

中国专利 :CN113539918B ,2024-05-17

[10]

一种晶圆片盒定位装置 [P].

唐伟 ;

叶竹之 .

中国专利 :CN222637262U ,2025-03-18

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