纳米尺度深孔的制备方法及纳米器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311489575.X

申请日：

2023-11-09

公开(公告)号：

CN117747540A

公开(公告)日：

2024-03-22

发明(设计)人：

刘金彪罗军李俊峰贺晓彬杨涛

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100020 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L21/768

IPC分类号：

B82Y40/00

代理机构：

北京中强智尚知识产权代理有限公司 11448

代理人：

孟姣

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/768申请日:20231109
2024-03-22	公开	公开

共 50 条

[1]

纳米尺度结构 [P].

P.马迪洛维奇 ;

Q.魏 ;

A.M.富勒 .

中国专利 :CN103153845B ,2013-06-12

[2]

纳米尺度金属颗粒的制备 [P].

R·A·默库里 .

中国专利 :CN101300096A ,2008-11-05

[3]

纳米尺度FET [P].

R·叙尔迪努 ;

P·阿加瓦尔 ;

A·R·巴尔克宁德 ;

E·P·A·M·巴克斯 .

中国专利 :CN1985378A ,2007-06-20

[4]

一种纳米尺度空气沟道器件的制备工艺 [P].

毕津顺 ;

范林杰 ;

刘雪飞 ;

张宇 ;

艾尔肯·阿不都瓦衣提 ;

刘明强 ;

王刚 ;

王德贵 ;

吴艳 ;

王珍 .

中国专利 :CN118588512A ,2024-09-03

[5]

纳米尺度器件的制造的干涉分析 [P].

P·K·林玛卡亚拉 ;

T·H·拉弗蒂 ;

A·阿格里 ;

B－J·崔 ;

P·D·苏马克 ;

D·A·巴布斯 ;

V·N·柴斯盖特 .

中国专利 :CN101115971A ,2008-01-30

[6]

一种纳米尺度空气沟道器件结构及其制备方法 [P].

毕津顺 ;

范林杰 ;

刘雪飞 ;

艾尔肯·阿不都瓦衣提 ;

刘明强 ;

王刚 ;

王德贵 ;

吴艳 ;

王珍 .

中国专利 :CN118645413A ,2024-09-13

[7]

纳米尺度展示装置 [P].

霍杨 ;

胡俊 ;

李虹 ;

王伟 ;

郭永霞 .

中国专利 :CN217161602U ,2022-08-12

[8]

纳米尺度金属颗粒的连续制备 [P].

R·A·默库里 .

中国专利 :CN101309767A ,2008-11-19

[9]

一种纳米尺度多晶硅线条的制备方法 [P].

黎明 ;

陈珙 ;

张昊 ;

杨远程 ;

黄如 .

中国专利 :CN106057664A ,2016-10-26

[10]

一种纳米尺度缝隙的制备方法 [P].

王紫东 ;

彭沛 ;

田仲政 ;

宋建宏 ;

任黎明 ;

傅云义 .

中国专利 :CN106904571B ,2017-06-30

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