一种纳米尺度空气沟道器件的制备工艺

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专利类型
发明
申请号
CN202410753558.0
申请日
2024-06-12
公开(公告)号
CN118588512A
公开(公告)日
2024-09-03
发明(设计)人
毕津顺 范林杰 刘雪飞 张宇 艾尔肯·阿不都瓦衣提 刘明强 王刚 王德贵 吴艳 王珍
申请人
贵州师范大学 晋城市光机电产业协调服务中心(晋城市光机电产业研究院)
申请人地址
550025 贵州省贵阳市贵安新区花溪大学城栋青路
IPC主分类号
H01J9/00
IPC分类号
B82Y40/00
代理机构
重庆立信达知识产权代理有限公司 50286
代理人
刘竹
法律状态
公开
国省代码
贵州省 贵阳市
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共 50 条
[1]
一种纳米尺度空气沟道器件结构及其制备工艺 [P]. 
毕津顺 ;
范林杰 ;
刘雪飞 ;
艾尔肯·阿不都瓦衣提 ;
刘明强 ;
王刚 ;
王德贵 ;
吴艳 ;
王珍 .
中国专利 :CN118571925A ,2024-08-30
[2]
一种纳米尺度空气沟道器件结构及其制备方法 [P]. 
毕津顺 ;
范林杰 ;
刘雪飞 ;
艾尔肯·阿不都瓦衣提 ;
刘明强 ;
王刚 ;
王德贵 ;
吴艳 ;
王珍 .
中国专利 :CN118645413A ,2024-09-13
[3]
纳米尺度深孔的制备方法及纳米器件 [P]. 
刘金彪 ;
罗军 ;
李俊峰 ;
贺晓彬 ;
杨涛 .
中国专利 :CN117747540A ,2024-03-22
[4]
一种纳米尺度镍金空气桥的制备方法 [P]. 
张杨 ;
刘剑 ;
李艳 ;
杨富华 .
中国专利 :CN101373734A ,2009-02-25
[5]
纳米尺度金属颗粒的制备 [P]. 
R·A·默库里 .
中国专利 :CN101300096A ,2008-11-05
[6]
纳米尺度器件的制造的干涉分析 [P]. 
P·K·林玛卡亚拉 ;
T·H·拉弗蒂 ;
A·阿格里 ;
B-J·崔 ;
P·D·苏马克 ;
D·A·巴布斯 ;
V·N·柴斯盖特 .
中国专利 :CN101115971A ,2008-01-30
[7]
一种制备纳米尺度氧化硅沟槽的方法 [P]. 
赵华波 ;
张朝晖 ;
傅云义 ;
张岩 ;
李彦 ;
严峰 ;
应轶群 .
中国专利 :CN101780943A ,2010-07-21
[8]
一种纳米尺度缝隙的制备方法 [P]. 
王紫东 ;
彭沛 ;
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宋建宏 ;
任黎明 ;
傅云义 .
中国专利 :CN106904571B ,2017-06-30
[9]
纳米尺度沟道晶体管的块接触结构 [P]. 
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A·马祖姆达 ;
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J·卡瓦利罗斯 ;
M·L·多茨 ;
J·K·布拉斯克 ;
U·沙 ;
S·达塔 ;
R·S·曹 .
中国专利 :CN101208805A ,2008-06-25
[10]
一种制作纳米尺度大高宽比器件的方法 [P]. 
谢常青 ;
方磊 ;
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李冬梅 ;
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