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晶圆预对准装置及晶圆预对准方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280044696.0
申请日：
2022-07-29
公开(公告)号：
CN117616548A
公开(公告)日：
2024-02-27
发明(设计)人：
金攀 肖蓉 周许超 刘涛 潘炼东
申请人：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
郑玮
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
上海市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-07-29 专利申请权、专利权的转移 专利申请权的转移IPC(主分类):H01L 21/68登记生效日:20250714变更事项:申请人变更前权利人:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更后权利人:上海芯上微装科技股份有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后权利人:201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区郭守敬路498号8幢19号楼3层
2024-02-27 公开 公开
2024-03-15 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20220729
共 50 条
[41]
一种高精度晶圆预对准机构 [P]. 
周建军 ;
杨加荣 ;
刘冰鑫 ;
王天聪 .
中国专利 :CN118983255A ,2024-11-19
[42]
一种检测晶圆预对准偏移的装置 [P]. 
李媛媛 .
中国专利 :CN217468347U ,2022-09-20
[43]
一种检测晶圆预对准偏移的装置及方法 [P]. 
李媛媛 .
中国专利 :CN114927436A ,2022-08-19
[44]
晶圆快速预对准方法、装置、电子设备及存储介质 [P]. 
文黎波 ;
王秀海 ;
赵英伟 ;
吴爱华 ;
翟玉卫 ;
郝晓亮 ;
马培圣 ;
曹健 ;
张文雅 .
中国专利 :CN114549599B ,2025-09-05
[45]
一种晶圆对准系统、晶圆键合设备及晶圆键合对准方法 [P]. 
辛玄霸 ;
张羽成 ;
吕邵玮 .
中国专利 :CN120015679A ,2025-05-16
[46]
晶圆快速预对准方法、装置、电子设备及存储介质 [P]. 
文黎波 ;
王秀海 ;
赵英伟 ;
吴爱华 ;
翟玉卫 ;
郝晓亮 ;
马培圣 ;
曹健 ;
张文雅 .
中国专利 :CN114549599A ,2022-05-27
[47]
一种晶圆对准系统、晶圆键合设备及晶圆键合对准方法 [P]. 
辛玄霸 ;
张羽成 ;
吕邵玮 .
中国专利 :CN120072728A ,2025-05-30
[48]
一种晶圆对准系统、晶圆键合设备及晶圆键合对准方法 [P]. 
辛玄霸 ;
张羽成 ;
吕邵玮 .
中国专利 :CN120015679B ,2025-12-02
[49]
一种晶圆对准系统、晶圆键合设备及晶圆键合对准方法 [P]. 
辛玄霸 ;
张羽成 ;
吕邵玮 .
中国专利 :CN120072728B ,2025-12-02
[50]
一种晶圆对准方法及其预对准机构、搬运机械手臂 [P]. 
朱煜 ;
张豹 ;
李健 ;
杨开明 .
中国专利 :CN110085534A ,2019-08-02
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