共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
半导体工艺腔室及半导体工艺设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211272511.X
申请日：
2022-10-18
公开(公告)号：
CN117954371A
公开(公告)日：
2024-04-30
发明(设计)人：
姚卫杰
李岩
茅兴飞
王伟
戴庚霖
杨纪鹏
杨延铭
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/67
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
刘亚岐
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-30 | 公开 | 公开 |
| 2024-05-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20221018 |