一种蚀刻铬铜金属的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311558872.5

申请日：

2023-11-22

公开(公告)号：

CN117535667A

公开(公告)日：

2024-02-09

发明(设计)人：

陈敬伦陈芬张晴晴

申请人：

南通群安电子材料有限公司

申请人地址：

226001 江苏省南通市开发区通盛南路7号

IPC主分类号：

C23F1/18

IPC分类号：

C23F1/26

代理机构：

北京东方尚禾专利代理事务所(特殊普通合伙) 11844

代理人：

别佳晨

法律状态：

公开

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-09	公开	公开
2024-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/18申请日:20231122

共 50 条

[1]

一种铜金属蚀刻液组合物 [P].

徐帅 ;

吴思程 ;

刘长乐 ;

丁荣 ;

李闯 ;

王丽亚 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN121204664A ,2025-12-26

[2]

一种长寿命的铜钛叠层金属蚀刻液及蚀刻方法 [P].

张宗萍 ;

贺兆波 ;

欧阳克银 ;

钟昌东 ;

黄锣锣 ;

张演哲 ;

郑秋曈 ;

张玥 ;

高楒羽 ;

雷康乐 ;

黎鹏飞 .

中国专利 :CN119615163A ,2025-03-14

[3]

一种蚀刻速率稳定的铜蚀刻液 [P].

李少平 ;

钟昌东 ;

郝晓斌 ;

贺兆波 ;

张演哲 ;

张庭 ;

蔡步林 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

冯凯 ;

尹印 ;

李鑫 ;

景继磊 .

中国专利 :CN111647889A ,2020-09-11

[4]

一种铜蚀刻液 [P].

张家明 ;

王维康 ;

何烨谦 ;

黄德新 .

中国专利 :CN117779036A ,2024-03-29

[5]

一种铜蚀刻液及蚀刻液的制备方法、蚀刻方法、应用 [P].

徐杨 ;

李涛 ;

朱龙 ;

殷福华 ;

邵勇 ;

陈林 ;

任奕宇 ;

顾梦佳 .

中国专利 :CN117802502A ,2024-04-02

[6]

一种含铜叠层蚀刻液、蚀刻方法及其应用 [P].

徐帅 ;

张红伟 ;

李闯 ;

胡天齐 ;

钱铁民 .

中国专利 :CN112342548A ,2021-02-09

[7]

一种厚铜蚀刻液 [P].

余娟娟 ;

王守飞 ;

吴际峰 ;

王维康 ;

何烨谦 ;

黄德新 ;

龚升 .

中国专利 :CN119465153A ,2025-02-18

[8]

铬金属蚀刻液以及蚀刻铬膜、铬镍膜的方法 [P].

何珂 ;

戈士勇 ;

戈烨铭 .

中国专利 :CN112048719A ,2020-12-08

[9]

一种用于蚀刻含铜金属层的金属蚀刻剂及其制备方法 [P].

尹国钦 ;

郭永华 ;

杨正军 ;

吕淑英 ;

颜磊 ;

张美刚 ;

田芳华 .

中国专利 :CN105386056A ,2016-03-09

[10]

一种长蚀刻寿命的铜蚀刻液 [P].

李少平 ;

钟昌东 ;

郝晓斌 ;

贺兆波 ;

张演哲 ;

张庭 ;

蔡步林 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

冯凯 ;

尹印 ;

李鑫 ;

景继磊 .

中国专利 :CN111647888A ,2020-09-11

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