铬金属蚀刻液以及蚀刻铬膜、铬镍膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010876475.2

申请日：

2020-08-27

公开(公告)号：

CN112048719A

公开(公告)日：

2020-12-08

发明(设计)人：

何珂戈士勇戈烨铭

申请人：

申请人地址：

214400 江苏省无锡市江阴市科达路33号

IPC主分类号：

C23F126

IPC分类号：

代理机构：

江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247

代理人：

林友琴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/26 申请日:20200827
2020-12-08	公开	公开
2023-01-20	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F 1/26 申请公布日:20201208

共 50 条

[1]

铬蚀刻液、铬蚀刻液的制备方法及铬蚀刻液的回收方法 [P].

童晨 ;

吴海燕 ;

陈桂红 ;

孙元 ;

韩成强 .

中国专利 :CN116162935B ,2024-08-20

[2]

一种铬及铬系合金蚀刻液 [P].

贺兆波 ;

杨俊伟 ;

尹印 ;

叶瑞 ;

万杨阳 ;

杨陈宗 ;

余建平 ;

余迪 ;

马瑞 ;

臧洋 ;

罗海燕 .

中国专利 :CN119162576A ,2024-12-20

[3]

铬蚀刻液生产设备 [P].

童晨 .

中国专利 :CN211036110U ,2020-07-17

[4]

一种铬蚀刻液及其制备方法 [P].

鄢红军 ;

熊启龙 .

中国专利 :CN106435589A ,2017-02-22

[5]

一种铬金属蚀刻液的制备装置 [P].

刘一平 ;

王亚娟 ;

石金武 ;

何珂 .

中国专利 :CN223082377U ,2025-07-11

[6]

一种蚀刻铬铜金属的方法 [P].

陈敬伦 ;

陈芬 ;

张晴晴 .

中国专利 :CN117535667A ,2024-02-09

[7]

液晶显示屏用铬蚀刻液及其制备方法 [P].

冯卫文 .

中国专利 :CN102277573B ,2011-12-14

[8]

一种OLED用铬蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

冯卫文 .

中国专利 :CN102505118B ,2012-06-20

[9]

一种集成电路用铬金属蚀刻液及其制备方法 [P].

戈烨铭 ;

何珂 ;

汤晓春 .

中国专利 :CN116121755B ,2024-11-15

[10]

多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液以及蚀刻方法 [P].

白滨祐二 ;

着能真 .

中国专利 :CN111094627B ,2020-05-01

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