多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液以及蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780094862.7

申请日：

2017-09-29

公开(公告)号：

CN111094627B

公开(公告)日：

2020-05-01

发明(设计)人：

白滨祐二着能真

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126 H01L2128 H01L21308

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20170929
2022-04-05	授权	授权
2020-05-01	公开	公开

共 50 条

[1]

多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液及蚀刻方法 [P].

着能真 ;

鬼头佑典 ;

渊上真一郎 ;

小佐野善秀 .

中国专利 :CN106460197A ,2017-02-22

[2]

多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液及蚀刻方法 [P].

着能真 ;

小佐野善秀 ;

渊上真一郎 .

中国专利 :CN105765107A ,2016-07-13

[3]

多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液及蚀刻方法 [P].

着能真 ;

渊上真一郎 .

中国专利 :CN107690488A ,2018-02-13

[4]

包含钼和铜的多层膜用蚀刻液、蚀刻浓缩液以及蚀刻方法 [P].

着能真 ;

渊上真一郎 ;

鬼头佑典 ;

小佐野善秀 .

中国专利 :CN106255777A ,2016-12-21

[5]

蚀刻液和蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN113529085A ,2021-10-22

[6]

着能真 ;

白滨祐二 ;

妹尾骏作 .

中国专利 :CN112739852A ,2021-04-30

[7]

着能真 ;

白滨祐二 ;

妹尾骏作 .

日本专利 :CN118880333A ,2024-11-01

[8]

蚀刻方法及蚀刻液 [P].

宋智辉 ;

王辉 ;

廖辉华 ;

康报虹 .

中国专利 :CN115132584A ,2022-09-30

[9]

蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P].

石崎隼郎 ;

大宫大辅 .

中国专利 :CN104233299B ,2014-12-24

[10]

蚀刻方法和蚀刻液 [P].

石川诚 ;

鎌田浩史 .

中国专利 :CN1946877A ,2007-04-11

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