碳化硅半导体外延片及其制备方法、碳化硅半导体器件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311691089.6
申请日
2023-12-09
公开(公告)号
CN117878138A
公开(公告)日
2024-04-12
发明(设计)人
曾为 杜伟华 李毕庆 张洁
申请人
湖南三安半导体有限责任公司
申请人地址
410217 湖南省长沙市高新开发区长兴路399号
IPC主分类号
H01L29/06
IPC分类号
H01L29/30 H01L29/16 H01L21/02 H01L21/04
代理机构
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280
代理人
管自英
法律状态
公开
国省代码
河北省 石家庄市
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
碳化硅半导体外延片及其制造方法、碳化硅半导体器件 [P]. 
杜伟华 ;
张洁 ;
曾为 ;
肖旭凌 ;
李毕庆 ;
江协龙 .
中国专利 :CN117476741A ,2024-01-30
[2]
碳化硅半导体结构及其制备方法、碳化硅半导体器件 [P]. 
张志成 ;
漆文龙 ;
周岐 ;
区树雄 ;
张建华 ;
张富强 ;
蔡学江 .
中国专利 :CN117476543A ,2024-01-30
[3]
碳化硅外延衬底及碳化硅半导体器件 [P]. 
堀勉 ;
塩见弘 ;
宫濑贵也 .
日本专利 :CN112335057B ,2024-06-28
[4]
碳化硅半导体器件 [P]. 
袁俊 .
中国专利 :CN216120213U ,2022-03-22
[5]
碳化硅半导体器件 [P]. 
和田圭司 ;
增田健良 ;
日吉透 .
中国专利 :CN104871316A ,2015-08-26
[6]
碳化硅外延衬底及碳化硅半导体器件 [P]. 
堀勉 ;
塩见弘 ;
宫濑贵也 .
中国专利 :CN112335057A ,2021-02-05
[7]
碳化硅半导体结构和碳化硅半导体器件 [P]. 
陈昭铭 ;
张安平 ;
刘鸣然 ;
殷鸿杰 ;
罗惠馨 ;
袁朝城 .
中国专利 :CN113410284A ,2021-09-17
[8]
碳化硅衬底,碳化硅半导体器件以及制造碳化硅衬底和碳化硅半导体器件的方法 [P]. 
田中聪 ;
山田俊介 ;
堀井拓 ;
松岛彰 ;
久保田良辅 ;
冲田恭子 ;
西浦隆幸 .
中国专利 :CN105164322A ,2015-12-16
[9]
碳化硅外延片及其制备方法、半导体器件 [P]. 
田宇 ;
张希山 .
中国专利 :CN118248535B ,2024-10-22
[10]
碳化硅外延片及其制备方法、半导体器件 [P]. 
田宇 ;
张希山 .
中国专利 :CN118248535A ,2024-06-25