碳化硅半导体外延片及其制造方法、碳化硅半导体器件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311132937.X
申请日
2023-09-04
公开(公告)号
CN117476741A
公开(公告)日
2024-01-30
发明(设计)人
杜伟华 张洁 曾为 肖旭凌 李毕庆 江协龙
申请人
湖南三安半导体有限责任公司
申请人地址
410217 湖南省长沙市高新开发区长兴路399号
IPC主分类号
H01L29/06
IPC分类号
H01L29/16 H01L29/167 H01L21/04
代理机构
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280
代理人
强珍妮
法律状态
实质审查的生效
国省代码
河北省 石家庄市
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共 50 条
[1]
碳化硅半导体外延片及其制备方法、碳化硅半导体器件 [P]. 
曾为 ;
杜伟华 ;
李毕庆 ;
张洁 .
中国专利 :CN117878138A ,2024-04-12
[2]
碳化硅半导体器件 [P]. 
袁俊 .
中国专利 :CN216120213U ,2022-03-22
[3]
碳化硅半导体结构和碳化硅半导体器件 [P]. 
陈昭铭 ;
张安平 ;
刘鸣然 ;
殷鸿杰 ;
罗惠馨 ;
袁朝城 .
中国专利 :CN113410284A ,2021-09-17
[4]
碳化硅半导体结构及其制备方法、碳化硅半导体器件 [P]. 
张志成 ;
漆文龙 ;
周岐 ;
区树雄 ;
张建华 ;
张富强 ;
蔡学江 .
中国专利 :CN117476543A ,2024-01-30
[5]
碳化硅半导体衬底、制造碳化硅半导体衬底的方法、以及制造碳化硅半导体器件的方法 [P]. 
堀井拓 ;
增田健良 .
中国专利 :CN105453219A ,2016-03-30
[6]
碳化硅半导体衬底、制造碳化硅半导体衬底的方法、以及制造碳化硅半导体器件的方法 [P]. 
堀井拓 ;
久保田良辅 ;
增田健良 .
中国专利 :CN105453220A ,2016-03-30
[7]
碳化硅外延衬底及碳化硅半导体器件 [P]. 
堀勉 ;
塩见弘 ;
宫濑贵也 .
日本专利 :CN112335057B ,2024-06-28
[8]
碳化硅半导体器件 [P]. 
宫原真一朗 ;
高谷秀史 ;
杉本雅裕 ;
渡边行彦 ;
副岛成雅 ;
石川刚 .
中国专利 :CN102629625A ,2012-08-08
[9]
碳化硅半导体器件 [P]. 
山田俊介 ;
日吉透 ;
增田健良 ;
和田圭司 .
中国专利 :CN104662664B ,2015-05-27
[10]
碳化硅半导体器件 [P]. 
前山雄介 ;
西川恒一 ;
福田祐介 ;
清水正章 ;
佐藤雅 ;
岩黑弘明 ;
野中贤一 .
中国专利 :CN1838428A ,2006-09-27