一种梯形结构顶部抗反射涂层聚合物和顶部抗反射涂层组合物及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111633280.6

申请日：

2021-12-29

公开(公告)号：

CN114195989B

公开(公告)日：

2024-03-15

发明(设计)人：

王雪枫肖楠王静宋里千毛鸿超

申请人：

福建泓光半导体材料有限公司

申请人地址：

363100 福建省漳州市高新区九湖镇林前村林前773号

IPC主分类号：

C08G61/12

IPC分类号：

C09D165/00

代理机构：

厦门荔信律和知识产权代理有限公司 35282

代理人：

张东明

法律状态：

授权

国省代码：

福建省漳州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种梯形结构顶部抗反射涂层聚合物和顶部抗反射涂层组合物及其制备方法 [P].

王雪枫 ;

肖楠 ;

王静 ;

宋里千 ;

毛鸿超 .

中国专利 :CN114195989A ,2022-03-18

[2]

顶部抗反射涂层组合物、形成图案的方法以及顶部抗反射涂层 [P].

仓本胜利 ;

小林政一 ;

秋山靖 .

中国专利 :CN101568991B ,2009-10-28

[3]

顶部抗反射涂料聚合物、制法及顶部抗反射涂料组合物 [P].

郑儎昌 ;

卜喆圭 ;

林昌文 ;

文承灿 .

中国专利 :CN1916764B ,2007-02-21

[4]

一种顶部抗反射涂层组合物 [P].

马晓明 ;

王健 .

中国专利 :CN113913060B ,2022-01-11

[5]

有机抗反射涂层聚合物、含该聚合物的抗反射涂层组合物及其制备方法 [P].

洪圣恩 ;

郑旼镐 ;

郑载昌 ;

李根守 ;

白基镐 .

中国专利 :CN1185268C ,2002-01-16

[6]

宽带全向聚合物抗反射涂层 [P].

王保民 ;

N·C·吉本克 .

中国专利 :CN110431121A ,2019-11-08

[7]

抗反射涂层组合物 [P].

高野祐辅 ;

田中初幸 ;

高野圣史 ;

桥本丰 .

中国专利 :CN1272864A ,2000-11-08

[8]

抗反射涂层组合物 [P].

姚晖蓉 ;

林观阳 ;

殷建 ;

吴恒鹏 ;

M·尼瑟 ;

R·R·达莫尔 .

中国专利 :CN102056954A ,2011-05-11

[9]

抗反射涂层组合物 [P].

姚晖蓉 ;

向中 ;

单槛会 ;

S·穆兰 ;

吴恒鹏 .

中国专利 :CN102056969A ,2011-05-11

[10]

抗反射涂层组合物及其方法 [P].

M·D·拉赫曼 ;

D·麦肯齐 ;

单槛会 ;

J·赵 ;

S·K·穆伦 ;

C·阿尼亚安迪格乌 .

中国专利 :CN103443161A ,2013-12-11

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