顶部抗反射涂层组合物、形成图案的方法以及顶部抗反射涂层

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780047992.1

申请日：

2007-12-21

公开(公告)号：

CN101568991B

公开(公告)日：

2009-10-28

发明(设计)人：

仓本胜利小林政一秋山靖

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G03F711

代理机构：

北京三幸商标专利事务所 11216

代理人：

刘激扬

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-30	授权	授权
2009-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-10-28	公开	公开
2015-05-06	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101714555885 IPC(主分类):H01L 21/027 专利号:ZL2007800479921 变更事项:专利权人变更前权利人:AZ电子材料IP(日本)株式会社变更后权利人:默克专利有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本国东京都变更后权利人:德国达姆施塔特登记生效日:20150414
2012-06-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101391727764 IPC(主分类):H01L 21/027 专利号:ZL2007800479921 变更事项:专利权人变更前权利人:AZ电子材料(日本)株式会社变更后权利人:AZ电子材料IP(日本)株式会社变更事项:地址变更前权利人:日本国东京都变更后权利人:日本国东京都登记生效日:20120522

共 50 条

[1]

一种梯形结构顶部抗反射涂层聚合物和顶部抗反射涂层组合物及其制备方法 [P].

王雪枫 ;

肖楠 ;

王静 ;

宋里千 ;

毛鸿超 .

中国专利 :CN114195989A ,2022-03-18

[2]

一种梯形结构顶部抗反射涂层聚合物和顶部抗反射涂层组合物及其制备方法 [P].

王雪枫 ;

肖楠 ;

王静 ;

宋里千 ;

毛鸿超 .

中国专利 :CN114195989B ,2024-03-15

[3]

一种顶部抗反射涂层组合物 [P].

马晓明 ;

王健 .

中国专利 :CN113913060B ,2022-01-11

[4]

抗反射涂层组合物 [P].

高野祐辅 ;

田中初幸 ;

高野圣史 ;

桥本丰 .

中国专利 :CN1272864A ,2000-11-08

[5]

抗反射涂层组合物 [P].

姚晖蓉 ;

林观阳 ;

殷建 ;

吴恒鹏 ;

M·尼瑟 ;

R·R·达莫尔 .

中国专利 :CN102056954A ,2011-05-11

[6]

抗反射涂层组合物 [P].

姚晖蓉 ;

向中 ;

单槛会 ;

S·穆兰 ;

吴恒鹏 .

中国专利 :CN102056969A ,2011-05-11

[7]

顶部抗反射涂料聚合物、制法及顶部抗反射涂料组合物 [P].

郑儎昌 ;

卜喆圭 ;

林昌文 ;

文承灿 .

中国专利 :CN1916764B ,2007-02-21

[8]

抗反射涂层组合物 [P].

高野祐辅 ;

田中初幸 ;

李东翰 .

中国专利 :CN1335945A ,2002-02-13

[9]

抗反射涂层组合物 [P].

E·K·帕韦尔切克 ;

P·特雷福纳斯三世 .

中国专利 :CN1385757A ,2002-12-18

[10]

抗反射涂层组合物 [P].

D·阿卜杜拉 ;

F·霍利亨 ;

M·尼瑟 .

中国专利 :CN101605854B ,2009-12-16

← 1 2 3 4 5 →