抗反射涂层组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02119355.X

申请日：

2002-05-13

公开(公告)号：

CN1385757A

公开(公告)日：

2002-12-18

发明(设计)人：

E·K·帕韦尔切克 P·特雷福纳斯三世

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

戈泊;彭益群

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2002-12-18	公开	公开
2009-10-21	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回

共 50 条

[1]

抗反射涂层组合物 [P].

高野祐辅 ;

田中初幸 ;

李东翰 .

中国专利 :CN1335945A ,2002-02-13

[2]

抗反射涂层组合物 [P].

高野祐辅 ;

田中初幸 ;

高野圣史 ;

桥本丰 .

中国专利 :CN1272864A ,2000-11-08

[3]

抗反射涂层组合物 [P].

姚晖蓉 ;

林观阳 ;

殷建 ;

吴恒鹏 ;

M·尼瑟 ;

R·R·达莫尔 .

中国专利 :CN102056954A ,2011-05-11

[4]

抗反射涂层组合物 [P].

姚晖蓉 ;

向中 ;

单槛会 ;

S·穆兰 ;

吴恒鹏 .

中国专利 :CN102056969A ,2011-05-11

[5]

抗反射涂层组合物 [P].

D·阿卜杜拉 ;

F·霍利亨 ;

M·尼瑟 .

中国专利 :CN101605854B ,2009-12-16

[6]

抗蚀剂抗反射涂层组合物 [P].

毛智彪 ;

苏珊·高利 ;

提莫希·G·爱当斯 .

中国专利 :CN1398362A ,2003-02-19

[7]

抗反射涂层组合物及其方法 [P].

M·D·拉赫曼 ;

D·麦肯齐 ;

单槛会 ;

J·赵 ;

S·K·穆伦 ;

C·阿尼亚安迪格乌 .

中国专利 :CN103443161A ,2013-12-11

[8]

抗反射涂层液组合物及利用此的抗反射涂层膜 [P].

李昇勋 ;

李昇炫 ;

咸庆国 .

中国专利 :CN108473792A ,2018-08-31

[9]

用于形成抗反射涂层的组合物 [P].

平山拓 ;

山田知孝 ;

川名大助 ;

田村弘毅 ;

佐藤和史 .

中国专利 :CN1720485A ,2006-01-11

[10]

抗反射涂层或吸光涂层组合物及其使用的聚合物 [P].

穆尼拉斯纳·帕德马纳班 ;

康文兵 ;

格奥尔格·帕夫洛夫斯基 ;

木村健 ;

田中初幸 .

中国专利 :CN1239557A ,1999-12-22

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