抗反射涂层组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980120871.4

申请日：

2009-04-29

公开(公告)号：

CN102056954A

公开(公告)日：

2011-05-11

发明(设计)人：

姚晖蓉林观阳殷建吴恒鹏 M·尼瑟 R·R·达莫尔

申请人：

申请人地址：

美国新泽西

IPC主分类号：

C08G1800

IPC分类号：

C08L6100 C09D16100 C09D16132 C09D16700 G03F700 G03F7004 G03F709 H01L2100

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

宓霞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-11	公开	公开
2015-04-29	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101714340744 IPC(主分类):C08G 18/00 专利号:ZL2009801208714 变更事项:专利权人变更前权利人:AZ电子材料美国公司变更后权利人:默克专利有限公司变更事项:地址变更前权利人:美国新泽西变更后权利人:德国达姆施塔特登记生效日:20150408
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101094908123 IPC(主分类):C08G 18/00 专利申请号:2009801208714 申请日:20090429
2013-07-03	授权	授权

共 50 条

[1]

抗反射涂层组合物 [P].

高野祐辅 ;

田中初幸 ;

高野圣史 ;

桥本丰 .

中国专利 :CN1272864A ,2000-11-08

[2]

抗反射涂层组合物 [P].

姚晖蓉 ;

向中 ;

单槛会 ;

S·穆兰 ;

吴恒鹏 .

中国专利 :CN102056969A ,2011-05-11

[3]

抗反射涂层组合物 [P].

高野祐辅 ;

田中初幸 ;

李东翰 .

中国专利 :CN1335945A ,2002-02-13

[4]

抗反射涂层组合物 [P].

E·K·帕韦尔切克 ;

P·特雷福纳斯三世 .

中国专利 :CN1385757A ,2002-12-18

[5]

抗反射涂层组合物 [P].

D·阿卜杜拉 ;

F·霍利亨 ;

M·尼瑟 .

中国专利 :CN101605854B ,2009-12-16

[6]

抗反射涂层组合物及其方法 [P].

M·D·拉赫曼 ;

D·麦肯齐 ;

单槛会 ;

J·赵 ;

S·K·穆伦 ;

C·阿尼亚安迪格乌 .

中国专利 :CN103443161A ,2013-12-11

[7]

一种抗反射涂层组合物 [P].

张爱强 ;

陈仁治 ;

陈渊 ;

江一敏 .

中国专利 :CN115403976A ,2022-11-29

[8]

顶部抗反射涂层组合物、形成图案的方法以及顶部抗反射涂层 [P].

仓本胜利 ;

小林政一 ;

秋山靖 .

中国专利 :CN101568991B ,2009-10-28

[9]

抗蚀剂抗反射涂层组合物 [P].

毛智彪 ;

苏珊·高利 ;

提莫希·G·爱当斯 .

中国专利 :CN1398362A ,2003-02-19

[10]

一种顶部抗反射涂层组合物 [P].

马晓明 ;

王健 .

中国专利 :CN113913060B ,2022-01-11

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