抗蚀剂抗反射涂层组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN01802441.6

申请日：

2001-08-17

公开(公告)号：

CN1398362A

公开(公告)日：

2003-02-19

发明(设计)人：

毛智彪苏珊·高利提莫希·G·爱当斯

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

G03F709

IPC分类号：

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

戈泊;梁洁

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-21	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101303549314 IPC(主分类):G03F 7/09 专利申请号:018024416 公开日:20030219
2003-11-05	实质审查的生效	实质审查的生效
2003-02-19	公开	公开

共 50 条

[1]

用于光致抗蚀剂组合物的抗反射涂层 [P].

I·穆库洛奇 ;

R·R·达米尔 ;

A·J·科尔索 ;

丁术李 ;

D·L·杜哈姆 ;

卢炳宏 ;

康鸣 ;

D·N·克哈纳 .

中国专利 :CN1111760C ,1999-10-20

[2]

抗反射涂层组合物 [P].

高野祐辅 ;

田中初幸 ;

李东翰 .

中国专利 :CN1335945A ,2002-02-13

[3]

抗反射涂层组合物 [P].

E·K·帕韦尔切克 ;

P·特雷福纳斯三世 .

中国专利 :CN1385757A ,2002-12-18

[4]

抗反射涂层组合物 [P].

高野祐辅 ;

田中初幸 ;

高野圣史 ;

桥本丰 .

中国专利 :CN1272864A ,2000-11-08

[5]

抗反射光致抗蚀剂组合物 [P].

姚晖蓉 ;

林观阳 ;

M·O·奈塞尔 .

中国专利 :CN102575127B ,2012-07-11

[6]

抗反射涂层组合物 [P].

姚晖蓉 ;

林观阳 ;

殷建 ;

吴恒鹏 ;

M·尼瑟 ;

R·R·达莫尔 .

中国专利 :CN102056954A ,2011-05-11

[7]

抗反射涂层组合物 [P].

姚晖蓉 ;

向中 ;

单槛会 ;

S·穆兰 ;

吴恒鹏 .

中国专利 :CN102056969A ,2011-05-11

[8]

抗反射涂层组合物 [P].

D·阿卜杜拉 ;

F·霍利亨 ;

M·尼瑟 .

中国专利 :CN101605854B ,2009-12-16

[9]

抗蚀剂组合物 [P].

斯科特·刘易斯 ;

理查德·温培尼 ;

斯蒂芬·耶茨 ;

安东尼奥·费尔南德兹 .

中国专利 :CN108351587B ,2018-07-31

[10]

抗蚀剂组合物 [P].

S·胡 ;

S·马格苏迪 ;

E·S·梅尔 ;

S·王 .

中国专利 :CN101048704B ,2007-10-03

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