评估负性光刻胶收缩的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410070195.0

申请日：

2024-01-17

公开(公告)号：

CN118033049A

公开(公告)日：

2024-05-14

发明(设计)人：

许文霞居碧玉李亚洲刘伟林杨坤周国庆

申请人：

华虹半导体（无锡）有限公司

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

G01N33/00

IPC分类号：

G01N21/88 G03F1/84

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

刘昌荣

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 33/00申请日:20240117
2024-05-14	公开	公开

共 50 条

[1]

除去负性光刻胶的方法 [P].

P·J·奇可洛 ;

B·D·阿莫斯 ;

S·麦卡蒙 .

中国专利 :CN103425000B ,2013-12-04

[2]

负性光刻胶及其应用 [P].

李颖 .

中国专利 :CN109343309A ,2019-02-15

[3]

负性光刻胶组合物和形成光刻胶图案的方法 [P].

王晓伟 .

中国专利 :CN112731764A ,2021-04-30

[4]

用于负性光刻胶的聚酰亚胺树脂及包含其的负性光刻胶 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN113736082A ,2021-12-03

[5]

负性光刻胶废液的排放装置 [P].

张垚 .

中国专利 :CN220543257U ,2024-02-27

[6]

负性光刻胶组合物、制备方法及形成光刻胶图案的方法 [P].

周元基 ;

孙逊运 ;

向容 .

中国专利 :CN113985701B ,2024-11-01

[7]

负性光刻胶组合物、制备方法及形成光刻胶图案的方法 [P].

周元基 ;

孙逊运 ;

向容 .

中国专利 :CN113985701A ,2022-01-28

[8]

一种负性光刻胶 [P].

尤慧 ;

顾奇 ;

王胜林 .

中国专利 :CN106886128B ,2017-06-23

[9]

负性光刻胶自动取样装置 [P].

纪昌炜 .

中国专利 :CN213456268U ,2021-06-15

[10]

KrF负性光刻胶及其制备方法、应用 [P].

周元基 .

中国专利 :CN113960881A ,2022-01-21

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