用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备及蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410131682.3

申请日：

2024-01-31

公开(公告)号：

CN117660962A

公开(公告)日：

2024-03-08

发明(设计)人：

石圣波姜圣毅唐家栋杨文章简群飞

申请人：

大连保税区金宝至电子有限公司

申请人地址：

116600 辽宁省大连市金州区大连保税区鑫汇南路1-1号

IPC主分类号：

C23F1/08

IPC分类号：

C23F1/00

代理机构：

北京慧加伦知识产权代理有限公司 16035

代理人：

汪永生

法律状态：

公开

国省代码：

浙江省宁波市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-08	公开	公开
2024-03-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/08申请日:20240131
2024-05-31	授权	授权
2025-09-19	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):C23F 1/08变更事项:专利权人变更前:大连保税区金宝至电子有限公司变更后:大连金宝至电子股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:辽宁省大连市保税区中轻大厦8号楼2-C变更后:116600 辽宁省大连市保税区鑫汇南路1-1号

共 50 条

[1]

用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备及蚀刻方法 [P].

石圣波 ;

姜圣毅 ;

唐家栋 ;

杨文章 ;

简群飞 .

中国专利 :CN117660962B ,2024-05-31

[2]

蚀刻设备及蚀刻方法 [P].

叶江波 .

中国专利 :CN105870008A ,2016-08-17

[3]

蚀刻设备和使用蚀刻设备的蚀刻方法 [P].

全大植 ;

李政范 ;

车城昊 ;

罗圣闵 ;

宋明坤 ;

金德镐 ;

林庆辰 .

中国专利 :CN101140859A ,2008-03-12

[4]

蚀刻方法和蚀刻设备 [P].

佐古卓司 ;

野口恭兵 ;

细野真树 ;

山本真弘 ;

尤伦·阿罗萨梅纳 .

日本专利 :CN118231244A ,2024-06-21

[5]

蚀刻方法和蚀刻设备 [P].

深泽孝之 ;

苏茂华 .

中国专利 :CN118610082A ,2024-09-06

[6]

蚀刻设备和蚀刻方法 [P].

戴建波 ;

孙文彬 .

中国专利 :CN115083871B ,2022-09-20

[7]

湿蚀刻设备及湿蚀刻方法 [P].

高胜洲 ;

黄荣龙 ;

欧振宪 ;

邱立峰 .

中国专利 :CN1797221B ,2006-07-05

[8]

干蚀刻设备及干蚀刻方法 [P].

高桥秀治 .

中国专利 :CN102280340A ,2011-12-14

[9]

干法蚀刻设备及蚀刻方法 [P].

方亮 ;

肖文欢 .

中国专利 :CN107301967A ,2017-10-27

[10]

蚀刻方法及蚀刻处理设备 [P].

深沢正永 .

中国专利 :CN111033698A ,2020-04-17

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