湿蚀刻设备及湿蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410091969.0

申请日：

2004-12-30

公开(公告)号：

CN1797221B

公开(公告)日：

2006-07-05

发明(设计)人：

高胜洲黄荣龙欧振宪邱立峰

申请人：

申请人地址：

518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

IPC主分类号：

G03F726

IPC分类号：

G03F732 H01L2100

代理机构：

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法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-05-12	授权	授权
2007-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效
2017-02-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101705177273 IPC(主分类):G03F 7/26 专利号:ZL2004100919690 申请日:20041230 授权公告日:20100512 终止日期:20151230
2006-07-05	公开	公开

共 50 条

[1]

湿蚀刻设备 [P].

高胜洲 ;

黄荣龙 ;

欧振宪 ;

邱立峰 .

中国专利 :CN2763268Y ,2006-03-08

[2]

湿蚀刻设备 [P].

王建刚 .

中国专利 :CN109166809A ,2019-01-08

[3]

湿蚀刻装置及方法 [P].

郑文达 .

中国专利 :CN102315092A ,2012-01-11

[4]

一种具有活动盖板的湿蚀刻设备及湿蚀刻方法 [P].

顾玲燕 ;

朱龙 ;

任奕宇 ;

李翔 ;

承明忠 .

中国专利 :CN110429053B ,2019-11-08

[5]

湿蚀刻装置和湿蚀刻方法 [P].

绪方正一 ;

菅长大辅 .

中国专利 :CN102473627B ,2012-05-23

[6]

湿蚀刻设备 [P].

高胜洲 ;

黄荣龙 ;

欧振宪 ;

黄昌桂 ;

陈青枫 ;

黄志鸿 .

中国专利 :CN100419121C ,2005-11-16

[7]

湿蚀刻方法 [P].

松崎荣 .

中国专利 :CN112309848A ,2021-02-02

[8]

湿蚀刻方法 [P].

松崎荣 .

日本专利 :CN112309848B ,2025-11-28

[9]

湿式蚀刻方法和蚀刻液 [P].

八尾章史 ;

山内邦裕 ;

藤原昌生 ;

宫崎达夫 .

中国专利 :CN107533971A ,2018-01-02

[10]

湿式蚀刻方法和蚀刻液 [P].

八尾章史 ;

山内邦裕 ;

藤原昌生 ;

宫崎达夫 .

中国专利 :CN112921320A ,2021-06-08

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