一种具有活动盖板的湿蚀刻设备及湿蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910764932.6

申请日：

2019-08-19

公开(公告)号：

CN110429053B

公开(公告)日：

2019-11-08

发明(设计)人：

顾玲燕朱龙任奕宇李翔承明忠

申请人：

申请人地址：

214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348

代理人：

杜兴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190819
2021-03-23	授权	授权
2019-11-08	公开	公开

共 50 条

[1]

湿蚀刻设备及湿蚀刻方法 [P].

高胜洲 ;

黄荣龙 ;

欧振宪 ;

邱立峰 .

中国专利 :CN1797221B ,2006-07-05

[2]

一种用于湿蚀刻的蚀刻设备 [P].

郑庆靓 ;

汤茂林 ;

刘贵福 ;

盛冬冬 .

中国专利 :CN220907657U ,2024-05-07

[3]

湿蚀刻装置和湿蚀刻方法 [P].

绪方正一 ;

菅长大辅 .

中国专利 :CN102473627B ,2012-05-23

[4]

一种湿蚀刻设备 [P].

欧阳志升 ;

陈建同 ;

姚洋羽 ;

廖钦盛 .

中国专利 :CN201520802U ,2010-07-07

[5]

湿蚀刻设备 [P].

高胜洲 ;

黄荣龙 ;

欧振宪 ;

邱立峰 .

中国专利 :CN2763268Y ,2006-03-08

[6]

湿蚀刻设备 [P].

高胜洲 ;

黄荣龙 ;

欧振宪 ;

黄昌桂 ;

陈青枫 ;

黄志鸿 .

中国专利 :CN100419121C ,2005-11-16

[7]

湿蚀刻设备 [P].

王建刚 .

中国专利 :CN109166809A ,2019-01-08

[8]

湿蚀刻方法 [P].

松崎荣 .

中国专利 :CN112309848A ,2021-02-02

[9]

湿蚀刻方法 [P].

松崎荣 .

日本专利 :CN112309848B ,2025-11-28

[10]

湿式蚀刻方法和蚀刻液 [P].

八尾章史 ;

山内邦裕 ;

藤原昌生 ;

宫崎达夫 .

中国专利 :CN107533971A ,2018-01-02

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