一种湿蚀刻设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920204223.4

申请日：

2009-08-21

公开(公告)号：

CN201520802U

公开(公告)日：

2010-07-07

发明(设计)人：

欧阳志升陈建同姚洋羽廖钦盛

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区光明高新技术产业园区塘明大道9号

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

代理机构：

深圳中一专利商标事务所 44237

代理人：

张全文

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23F 1/08 申请日:20090821 授权公告日:20100707 终止日期:20180821
2013-07-24	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101638232527 IPC(主分类):C23F 1/08 专利号:ZL2009202042234 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳华映显示科技有限公司变更后权利人:华映科技(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市宝安区光明高新技术产业园区塘明大道9号变更后权利人:350000 福建省福州市马尾区儒江西路6号变更事项:专利权人变更前权利人:中华映管股份有限公司变更后权利人:中华映管股份有限公司登记生效日:20130704
2010-07-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于湿蚀刻的蚀刻设备 [P].

郑庆靓 ;

汤茂林 ;

刘贵福 ;

盛冬冬 .

中国专利 :CN220907657U ,2024-05-07

[2]

湿蚀刻设备及湿蚀刻方法 [P].

高胜洲 ;

黄荣龙 ;

欧振宪 ;

邱立峰 .

中国专利 :CN1797221B ,2006-07-05

[3]

湿蚀刻设备 [P].

高胜洲 ;

黄荣龙 ;

欧振宪 ;

邱立峰 .

中国专利 :CN2763268Y ,2006-03-08

[4]

一种具有活动盖板的湿蚀刻设备及湿蚀刻方法 [P].

顾玲燕 ;

朱龙 ;

任奕宇 ;

李翔 ;

承明忠 .

中国专利 :CN110429053B ,2019-11-08

[5]

一种湿蚀刻设备 [P].

陈睿 ;

黄于维 ;

林志明 .

中国专利 :CN103526205A ,2014-01-22

[6]

一种蚀刻装置及蚀刻设备 [P].

黄杰 ;

张红 ;

邱扬法 .

中国专利 :CN209030466U ,2019-06-25

[7]

湿蚀刻设备 [P].

高胜洲 ;

黄荣龙 ;

欧振宪 ;

黄昌桂 ;

陈青枫 ;

黄志鸿 .

中国专利 :CN100419121C ,2005-11-16

[8]

湿蚀刻设备 [P].

王建刚 .

中国专利 :CN109166809A ,2019-01-08

[9]

一种方便清洁的湿蚀刻设备 [P].

苏华明 ;

朱有豪 ;

朱孝桂 .

中国专利 :CN223033461U ,2025-06-27

[10]

一种蚀刻设备 [P].

凌洁 .

中国专利 :CN217214655U ,2022-08-16

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