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湿式蚀刻方法和蚀刻液
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680027447.5
申请日：
2016-06-22
公开(公告)号：
CN107533971A
公开(公告)日：
2018-01-02
发明(设计)人：
八尾章史
山内邦裕
藤原昌生
宫崎达夫
申请人：
申请人地址：
日本山口县
IPC主分类号：
H01L21308
IPC分类号：
C23F110
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李茂家
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-26 | 授权 | 授权 |
| 2018-01-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/308 申请日:20160622 |
| 2018-01-02 | 公开 | 公开 |