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一种磷化铟晶片的腐蚀装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311836913.2
申请日：
2023-12-28
公开(公告)号：
CN117747508A
公开(公告)日：
2024-03-22
发明(设计)人：
刘良副
马金峰
毛伟文
杨登登
郑金龙
张冲波
周铁军
申请人：
广东先导微电子科技有限公司
申请人地址：
511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/68
代理机构：
北京天盾知识产权代理有限公司 11421
代理人：
肖小龙
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20231228 |
| 2024-03-22 | 公开 | 公开 |