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全环绕栅极晶体管的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110778341.1
申请日：
2021-07-09
公开(公告)号：
CN113539792B
公开(公告)日：
2024-03-01
发明(设计)人：
母志强
刘强
俞文杰
申请人：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址：
200050 上海市长宁区长宁路865号
IPC主分类号：
H01L21/02
IPC分类号：
H01L29/06
H01L29/423
H01L29/66
H01L21/336
代理机构：
上海泰博知识产权代理有限公司 31451
代理人：
钱文斌
法律状态：
授权
国省代码：
北京市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-01 | 授权 | 授权 |