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暗场照明装置及暗场照明的光学检测系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311629093.X
申请日：
2023-11-30
公开(公告)号：
CN117589790A
公开(公告)日：
2024-02-23
发明(设计)人：
王婷婷
申请人：
魅杰光电科技（上海）有限公司
申请人地址：
201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
IPC主分类号：
G01N21/95
IPC分类号：
H01L21/66
H01L21/67
G01N21/01
代理机构：
北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718
代理人：
宋超
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-08 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):G01N 21/95变更事项:专利权人变更前:魅杰光电科技（上海）有限公司变更后:魅杰半导体设备（无锡）有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼变更后:214063 江苏省无锡市滨湖区滴翠路100号11号标准厂房101室 |
| 2024-03-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20231130 |
| 2024-07-23 | 授权 | 授权 |
| 2024-02-23 | 公开 | 公开 |