用于半导体暗场检测的照明装置以及检测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311486099.6

申请日：

2023-11-09

公开(公告)号：

CN117212736B

公开(公告)日：

2024-01-23

发明(设计)人：

请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名

申请人：

苏州高视半导体技术有限公司

申请人地址：

215153 江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢9层903室、904室

IPC主分类号：

F21V8/00

IPC分类号：

G01N21/95

代理机构：

北京维昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11804

代理人：

孙新国

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-23	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体检测系统及其暗场照明装置 [P].

张建 ;

王磊 .

中国专利 :CN119291235A ,2025-01-10

[2]

暗场照明装置及暗场照明的光学检测系统 [P].

王婷婷 .

中国专利 :CN117589790B ,2024-07-23

[3]

暗场照明装置及暗场照明的光学检测系统 [P].

王婷婷 .

中国专利 :CN117589790A ,2024-02-23

[4]

照明装置及暗场检测系统 [P].

王婷婷 ;

李运锋 .

中国专利 :CN212430512U ,2021-01-29

[5]

照明装置、照明方法及半导体光学检测系统 [P].

邵加强 ;

请求不公布姓名 ;

孟烨南 ;

王方江 .

中国专利 :CN121007900A ,2025-11-25

[6]

照明装置以及半导体检测设备 [P].

李轩 ;

夏世伟 ;

杰夫·贝克 ;

杨立军 ;

孟庆栋 .

中国专利 :CN216900254U ,2022-07-05

[7]

照明装置、暗场检测系统及方法 [P].

李政红 ;

包建 .

中国专利 :CN119804484A ,2025-04-11

[8]

检测系统及其检测电路、半导体装置、显示装置以及检测半导体装置的方法 [P].

高取宪一 .

中国专利 :CN101089929A ,2007-12-19

[9]

用于半导体封装结构的检测系统 [P].

李诗婷 ;

张桂铭 ;

刘记纲 ;

汪立庭 .

中国专利 :CN217359656U ,2022-09-02

[10]

半导体检测装置、半导体检测系统及检测衬底温度的方法 [P].

马悦 ;

宋涛 ;

黄占超 ;

何川 ;

袁刚 ;

侯俊立 ;

奚明 .

中国专利 :CN103531495B ,2014-01-22

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