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照明装置、暗场检测系统及方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202411914383.3
申请日
:
2024-12-24
公开(公告)号
:
CN119804484A
公开(公告)日
:
2025-04-11
发明(设计)人
:
李政红
包建
申请人
:
睿励科学仪器(上海)有限公司
申请人地址
:
200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区华佗路68号6幢
IPC主分类号
:
G01N21/95
IPC分类号
:
G01N21/88
G01N21/01
G01N21/89
代理机构
:
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人
:
施婷婷
法律状态
:
公开
国省代码
:
上海市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-04-11
公开
公开
2025-04-29
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20241224
共 50 条
[1]
暗场照明装置及暗场照明的光学检测系统
[P].
王婷婷
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
魅杰光电科技(上海)有限公司
魅杰光电科技(上海)有限公司
王婷婷
.
中国专利
:CN117589790B
,2024-07-23
[2]
暗场照明装置及暗场照明的光学检测系统
[P].
王婷婷
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
魅杰光电科技(上海)有限公司
魅杰光电科技(上海)有限公司
王婷婷
.
中国专利
:CN117589790A
,2024-02-23
[3]
照明装置及暗场检测系统
[P].
王婷婷
论文数:
0
引用数:
0
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0
王婷婷
;
李运锋
论文数:
0
引用数:
0
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0
李运锋
.
中国专利
:CN212430512U
,2021-01-29
[4]
半导体检测系统及其暗场照明装置
[P].
张建
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
张建
;
王磊
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
王磊
.
中国专利
:CN119291235A
,2025-01-10
[5]
用于半导体暗场检测的照明装置以及检测系统
[P].
请求不公布姓名
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
苏州高视半导体技术有限公司
苏州高视半导体技术有限公司
请求不公布姓名
;
请求不公布姓名
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
苏州高视半导体技术有限公司
苏州高视半导体技术有限公司
请求不公布姓名
;
请求不公布姓名
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
苏州高视半导体技术有限公司
苏州高视半导体技术有限公司
请求不公布姓名
.
中国专利
:CN117212736B
,2024-01-23
[6]
一种暗场照明装置及表面缺陷检测装置
[P].
梁海亮
论文数:
0
引用数:
0
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0
梁海亮
.
中国专利
:CN106932399A
,2017-07-07
[7]
一种暗场环形照明装置和光学检测系统
[P].
黄清清
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海御微半导体技术有限公司
上海御微半导体技术有限公司
黄清清
;
孔寒夫
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海御微半导体技术有限公司
上海御微半导体技术有限公司
孔寒夫
;
尹光才
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海御微半导体技术有限公司
上海御微半导体技术有限公司
尹光才
;
赵赫
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海御微半导体技术有限公司
上海御微半导体技术有限公司
赵赫
;
孙刚
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海御微半导体技术有限公司
上海御微半导体技术有限公司
孙刚
.
中国专利
:CN119595645B
,2025-12-02
[8]
一种暗场环形照明装置和光学检测系统
[P].
黄清清
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海御微半导体技术有限公司
上海御微半导体技术有限公司
黄清清
;
孔寒夫
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海御微半导体技术有限公司
上海御微半导体技术有限公司
孔寒夫
;
尹光才
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海御微半导体技术有限公司
上海御微半导体技术有限公司
尹光才
;
赵赫
论文数:
0
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0
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机构:
上海御微半导体技术有限公司
上海御微半导体技术有限公司
赵赫
;
孙刚
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海御微半导体技术有限公司
上海御微半导体技术有限公司
孙刚
.
中国专利
:CN119595645A
,2025-03-11
[9]
暗场成像检测系统
[P].
马翔宇
论文数:
0
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0
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马翔宇
;
吴晓斌
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0
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吴晓斌
;
沙鹏飞
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0
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沙鹏飞
;
谢婉露
论文数:
0
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谢婉露
;
韩晓泉
论文数:
0
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0
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0
韩晓泉
.
中国专利
:CN113791076A
,2021-12-14
[10]
暗场检测系统
[P].
都伦·寇恩葛特
论文数:
0
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0
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都伦·寇恩葛特
;
艾瑞兹·爱德莫尼
论文数:
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艾瑞兹·爱德莫尼
;
欧菲·卡达
论文数:
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欧菲·卡达
;
雷夫·卡克凡契
论文数:
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雷夫·卡克凡契
;
翰·菲德门
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0
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翰·菲德门
;
艾麦夏·捷塔
论文数:
0
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艾麦夏·捷塔
.
中国专利
:CN1685220B
,2005-10-19
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