暗场检测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03823095.X

申请日：

2003-09-08

公开(公告)号：

CN1685220B

公开(公告)日：

2005-10-19

发明(设计)人：

都伦·寇恩葛特艾瑞兹·爱德莫尼欧菲·卡达雷夫·卡克凡契翰·菲德门艾麦夏·捷塔

申请人：

申请人地址：

以色列里欧宝特

IPC主分类号：

G01N2195

IPC分类号：

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019

代理人：

寿宁

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101631623278 IPC(主分类):G01N 21/95 专利号:ZL03823095X 申请日:20030908 授权公告日:20100428 终止日期:20140908
2011-11-23	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101215118647 IPC(主分类):G01N 21/95 专利号:ZL03823095X 变更事项:专利权人变更前:应用材料以色列股份有限公司变更后:应用材料以色列公司变更事项:地址变更前:以色列里欧宝特变更后:以色列里欧宝特变更事项:共同专利权人变更前:应用材料有限公司变更后:应用材料公司
2005-12-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-10-19	公开	公开
2010-04-28	授权	授权

共 50 条

[1]

暗场成像检测系统 [P].

马翔宇 ;

吴晓斌 ;

沙鹏飞 ;

谢婉露 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN113791076A ,2021-12-14

[2]

暗场照明装置及暗场照明的光学检测系统 [P].

王婷婷 .

中国专利 :CN117589790B ,2024-07-23

[3]

暗场照明装置及暗场照明的光学检测系统 [P].

王婷婷 .

中国专利 :CN117589790A ,2024-02-23

[4]

照明装置及暗场检测系统 [P].

王婷婷 ;

李运锋 .

中国专利 :CN212430512U ,2021-01-29

[5]

暗场检测装置 [P].

李运锋 ;

李润芝 ;

王婷婷 ;

于大维 .

中国专利 :CN112098421B ,2020-12-18

[6]

照明装置、暗场检测系统及方法 [P].

李政红 ;

包建 .

中国专利 :CN119804484A ,2025-04-11

[7]

检测系统 [P].

黄昱豪 ;

许恩峯 ;

高铭璨 .

中国专利 :CN103808305B ,2014-05-21

[8]

一种可以进行暗场检测的图形检测系统 [P].

周洁 ;

黄康宁 ;

马铁中 .

中国专利 :CN121114040A ,2025-12-12

[9]

用于半导体暗场检测的照明装置以及检测系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117212736B ,2024-01-23

[10]

半导体检测系统及其暗场照明装置 [P].

张建 ;

王磊 .

中国专利 :CN119291235A ,2025-01-10

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