一种半导体加工用清洁装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322341340.8
申请日
2023-08-30
公开(公告)号
CN220920092U
公开(公告)日
2024-05-10
发明(设计)人
宋青福 蔡昱明 王湙鈜
申请人
联亚鑫(厦门)科技有限公司
申请人地址
361000 福建省厦门市翔安区巷西路608号403室
IPC主分类号
B08B1/12
IPC分类号
B08B1/32 B08B5/02 B08B13/00
代理机构
泉州企记知识产权代理事务所(普通合伙) 35264
代理人
王小虎
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体加工用表面清洁装置 [P]. 
郭顺杰 .
中国专利 :CN213079226U ,2021-04-30
[2]
一种半导体加工用表面清洁装置 [P]. 
俞成国 .
中国专利 :CN215965261U ,2022-03-08
[3]
一种半导体加工用测试装置 [P]. 
卢善书 ;
赵文祥 ;
陈中 .
中国专利 :CN223166680U ,2025-07-29
[4]
一种半导体加工用清洁装置 [P]. 
张陈军 .
中国专利 :CN216262365U ,2022-04-12
[5]
一种半导体加工用清洁装置 [P]. 
胡建军 .
中国专利 :CN220658542U ,2024-03-26
[6]
一种半导体加工用清洁装置 [P]. 
李峰 ;
李振锋 .
中国专利 :CN221361446U ,2024-07-19
[7]
一种半导体加工用夹持设备 [P]. 
林立塘 ;
何汉青 .
中国专利 :CN213702524U ,2021-07-16
[8]
一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置 [P]. 
胡长文 ;
陈金凌 ;
王锡胜 ;
李敏 .
中国专利 :CN114150272B ,2022-03-08
[9]
一种半导体材料加工用基板切割装置 [P]. 
何天兵 ;
严金鸽 .
中国专利 :CN222450461U ,2025-02-11
[10]
一种半导体加工用磨边装置 [P]. 
何明生 ;
曾贵文 ;
彭伟升 .
中国专利 :CN221658835U ,2024-09-06