一种多晶硅薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410160892.5

申请日：

2024-02-05

公开(公告)号：

CN117711917B

公开(公告)日：

2024-05-28

发明(设计)人：

李彦庆孙守红余毅郭同健何锋赟张海宇

申请人：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请人地址：

130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

C23C16/24 C23C16/56

代理机构：

长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218

代理人：

孙艳辉

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-28	授权	授权
2024-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20240205
2024-03-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种多晶硅薄膜及其制备方法 [P].

李彦庆 ;

孙守红 ;

余毅 ;

郭同健 ;

何锋赟 ;

张海宇 .

中国专利 :CN117711917A ,2024-03-15

[2]

一种低温多晶硅薄膜及其制备方法 [P].

李彦庆 ;

余毅 ;

何锋赟 ;

张海宇 .

中国专利 :CN117711918A ,2024-03-15

[3]

一种低温多晶硅薄膜及其制备方法 [P].

李彦庆 ;

余毅 ;

何锋赟 ;

张海宇 .

中国专利 :CN117711918B ,2024-04-09

[4]

一种多晶硅薄膜的制备方法及多晶硅薄膜 [P].

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

沈文涛 ;

张明照 .

中国专利 :CN108878272A ,2018-11-23

[5]

一种多晶硅薄膜的制备方法 [P].

朱开贵 ;

陈芳芳 ;

钟汇才 .

中国专利 :CN103346072A ,2013-10-09

[6]

一种低温多晶硅薄膜的制备方法及低温多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 ;

龙春平 ;

姚江峰 .

中国专利 :CN102651311B ,2012-08-29

[7]

一种多晶硅薄膜制备方法 [P].

万青 ;

曾梦麟 ;

张雪平 ;

佘鹏 .

中国专利 :CN102071405B ,2011-05-25

[8]

多晶硅薄膜、多晶硅薄膜晶体管及阵列基板的制备方法 [P].

刘政 .

中国专利 :CN103972050A ,2014-08-06

[9]

低温多晶硅薄膜及其制备方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

刘玉成 ;

朱涛 ;

顾维杰 .

中国专利 :CN104362084A ,2015-02-18

[10]

一种制备多晶硅的方法 [P].

黄金英 ;

付国柱 ;

荆海 ;

凌志华 .

中国专利 :CN1727525A ,2006-02-01

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