晶圆传输机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811221029.7

申请日：

2018-10-19

公开(公告)号：

CN109216250B

公开(公告)日：

2024-05-17

发明(设计)人：

王剑许振杰王同庆赵德文路新春

申请人：

清华大学华海清科股份有限公司

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

天津市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-17	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆传输机构 [P].

王剑 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN208923072U ,2019-05-31

[2]

晶圆传输机构 [P].

王剑 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN109216250A ,2019-01-15

[3]

晶圆缓存机构及晶圆传输装置 [P].

孟亚东 ;

张庆 ;

王文广 ;

鲍伟成 ;

梁烁 ;

薛增辉 .

中国专利 :CN115188698B ,2022-12-09

[4]

晶圆检测机构、检测方法及晶圆传输装置 [P].

何川 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

鲍伟成 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117038495B ,2024-01-30

[5]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004A ,2021-09-24

[6]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004B ,2024-02-27

[7]

一种晶圆缓存机构、晶圆传输装置和传输方法 [P].

何川 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

张胜森 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117410223B ,2024-03-12

[8]

一种晶圆缓存机构、晶圆传输装置和传输方法 [P].

何川 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

张胜森 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117410223A ,2024-01-16

[9]

晶圆传输装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222980479U ,2025-06-13

[10]

晶圆传输装置 [P].

李海楠 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 ;

刘哲伟 ;

张宝庆 ;

贾燕 .

中国专利 :CN119208225A ,2024-12-27

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