晶圆传输机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821698516.8

申请日：

2018-10-19

公开(公告)号：

CN208923072U

公开(公告)日：

2019-05-31

发明(设计)人：

王剑许振杰王同庆赵德文路新春

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

黄德海

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-31	授权	授权
2020-06-19	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更事项:专利权人变更前:清华大学变更后:清华大学变更事项:地址变更前:100084 北京市海淀区清华园变更后:100084 北京市海淀区清华园变更事项:共同专利权人变更前:天津华海清科机电科技有限公司变更后:华海清科股份有限公司

共 50 条

[1]

晶圆传输机构 [P].

王剑 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN109216250B ,2024-05-17

[2]

晶圆传输机构 [P].

王剑 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN109216250A ,2019-01-15

[3]

晶圆缓存机构及晶圆传输装置 [P].

孟亚东 ;

张庆 ;

王文广 ;

鲍伟成 ;

梁烁 ;

薛增辉 .

中国专利 :CN115188698B ,2022-12-09

[4]

晶圆传输机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212380401U ,2021-01-19

[5]

晶圆传输装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222980479U ,2025-06-13

[6]

晶圆传输装置 [P].

王大为 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN208954942U ,2019-06-07

[7]

晶圆传输装置 [P].

许亮 ;

于祯鑫 ;

吴新江 .

中国专利 :CN202003971U ,2011-10-05

[8]

晶圆传输装置 [P].

关聪 .

中国专利 :CN223155985U ,2025-07-25

[9]

晶圆传输盒 [P].

肖志坚 ;

吕秋玲 ;

杨洪春 ;

杨斌 .

中国专利 :CN201163617Y ,2008-12-10

[10]

晶圆传输装置 [P].

史小宝 .

中国专利 :CN201466013U ,2010-05-12

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