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高平整度端子接口真空溅射镀膜工艺
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202311788585.3
申请日
:
2023-12-25
公开(公告)号
:
CN118086826A
公开(公告)日
:
2024-05-28
发明(设计)人
:
贾建国
申请人
:
昆山英利悦电子有限公司
申请人地址
:
215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇山淞路297号8号房
IPC主分类号
:
C23C14/02
IPC分类号
:
C23C14/14
C23C14/34
代理机构
:
江苏久宣知识产权代理事务所(普通合伙) 32739
代理人
:
陈宁
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
江苏省 苏州市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-06-14
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/02申请日:20231225
2024-05-28
公开
公开
共 17 条
[1]
一种真空溅射镀膜及其工艺
[P].
李均平
论文数:
0
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0
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李均平
;
贾祥文
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贾祥文
;
韩阳
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韩阳
;
张威
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张威
;
邹健
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邹健
.
中国专利
:CN111607773A
,2020-09-01
[2]
一种金属制品的真空溅射镀膜工艺
[P].
程淑清
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程淑清
.
中国专利
:CN109763104A
,2019-05-17
[3]
柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置
[P].
任丹
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任丹
;
张少波
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张少波
;
刘月豹
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刘月豹
;
王银泉
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王银泉
;
孔德辉
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孔德辉
.
中国专利
:CN204474748U
,2015-07-15
[4]
柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置
[P].
任丹
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任丹
;
张少波
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张少波
;
刘月豹
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刘月豹
;
王银泉
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王银泉
;
孔德辉
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孔德辉
.
中国专利
:CN104611678A
,2015-05-13
[5]
金属溅射镀膜及表面真空硬化保护层连续生产工艺
[P].
蔡玉真
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蔡玉真
.
中国专利
:CN109837502A
,2019-06-04
[6]
一种磁控溅射蒸发双系统卷绕真空镀膜机及其镀膜工艺
[P].
林卫良
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林卫良
.
中国专利
:CN111962037A
,2020-11-20
[7]
真空离子溅射镀膜在IML工艺中的应用方法
[P].
曾晓东
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曾晓东
;
刘静艳
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刘静艳
;
石云
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石云
;
王树清
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0
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王树清
.
中国专利
:CN101698935B
,2010-04-28
[8]
一种在真空环境中进行离子溅射镀膜的工艺方法
[P].
高富堂
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0
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高富堂
.
中国专利
:CN110670033A
,2020-01-10
[9]
一种能够保持真空度的溅射镀膜装置
[P].
陈斌
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陈斌
.
中国专利
:CN204874725U
,2015-12-16
[10]
一种能够保持真空度的溅射镀膜装置
[P].
唐贵民
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唐贵民
;
闫都伦
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闫都伦
;
王克斌
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王克斌
.
中国专利
:CN205529009U
,2016-08-31
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