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一种真空多弧离子镀膜机弧源组件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211148628.7
申请日：
2022-09-21
公开(公告)号：
CN117778965A
公开(公告)日：
2024-03-29
发明(设计)人：
黄喜波
鲁明辉
黄喜涛
申请人：
陕西莱普特设备有限公司
申请人地址：
712000 陕西省咸阳市武功县工业园区创业三路
IPC主分类号：
C23C14/32
IPC分类号：
代理机构：
昆明合众智信知识产权事务所 53113
代理人：
陈婵
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/32申请日:20220921 |
| 2024-03-29 | 公开 | 公开 |