一种MEMS压力传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210833594.9

申请日：

2022-07-14

公开(公告)号：

CN117433670A

公开(公告)日：

2024-01-23

发明(设计)人：

马清杰

申请人：

苏州跃芯微传感技术有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2号楼516室

IPC主分类号：

G01L1/18

IPC分类号：

B81B7/00 B81B7/02 B81C1/00

代理机构：

苏州简理知识产权代理有限公司 32371

代理人：

庞聪雅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01L 1/18申请日:20220714
2024-01-23	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

关荣锋 ;

田大垒 ;

赵文卿 ;

王杏 .

中国专利 :CN101738280B ,2010-06-16

[2]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

柳连俊 .

中国专利 :CN102156012A ,2011-08-17

[3]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

柳连俊 .

中国专利 :CN102183335A ,2011-09-14

[4]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

郑超 ;

许继辉 ;

于佳 .

中国专利 :CN104949776A ,2015-09-30

[5]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

张鹏举 ;

刘汉青 ;

张郑欣 ;

郭蕾 ;

张佳立 ;

崔军蕊 ;

付和平 ;

田总福 ;

陈龙 .

中国专利 :CN119803739A ,2025-04-11

[6]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

马清杰 .

中国专利 :CN117433671A ,2024-01-23

[7]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

张毅 ;

薛世峰 ;

李琳 ;

贾朋 ;

叶贵根 ;

朱秀星 .

中国专利 :CN108731858A ,2018-11-02

[8]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

马清杰 .

中国专利 :CN117870916A ,2024-04-12

[9]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

周敬训 ;

罗守茹 .

中国专利 :CN108981982A ,2018-12-11

[10]

一种MEMS压力传感器及其的制作方法 [P].

马清杰 ;

李静 .

中国专利 :CN113252216A ,2021-08-13

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