MEMS压力传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110061167.5

申请日：

2011-03-15

公开(公告)号：

CN102183335A

公开(公告)日：

2011-09-14

发明(设计)人：

柳连俊

申请人：

申请人地址：

300381 天津市南开区宾水西道奥城商业广场A3-518室

IPC主分类号：

G01L912

IPC分类号：

B81B300 B81C100

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

逯长明;王宝筠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-21	授权	授权
2011-09-14	公开	公开
2011-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101127311985 IPC(主分类):G01L 9/12 专利申请号:2011100611675 申请日:20110315

共 50 条

[1]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

柳连俊 .

中国专利 :CN102156012A ,2011-08-17

[2]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

关荣锋 ;

田大垒 ;

赵文卿 ;

王杏 .

中国专利 :CN101738280B ,2010-06-16

[3]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

郑超 ;

许继辉 ;

于佳 .

中国专利 :CN104949776A ,2015-09-30

[4]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

张鹏举 ;

刘汉青 ;

张郑欣 ;

郭蕾 ;

张佳立 ;

崔军蕊 ;

付和平 ;

田总福 ;

陈龙 .

中国专利 :CN119803739A ,2025-04-11

[5]

MEMS压力传感器的空腔制作方法 [P].

张亚娇 .

中国专利 :CN118811768A ,2024-10-22

[6]

压力传感器及其制作方法、压力检测装置 [P].

魏秋旭 ;

李月 ;

王立会 ;

郭伟龙 ;

任艳飞 ;

张韬楠 ;

常文博 ;

孙杰 ;

何娜娜 ;

吴少华 ;

杜国琛 ;

丁丁 ;

曲峰 .

中国专利 :CN118591722A ,2024-09-03

[7]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

马清杰 .

中国专利 :CN117433671A ,2024-01-23

[8]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

马清杰 .

中国专利 :CN117433670A ,2024-01-23

[9]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

张毅 ;

薛世峰 ;

李琳 ;

贾朋 ;

叶贵根 ;

朱秀星 .

中国专利 :CN108731858A ,2018-11-02

[10]

MEMS压力传感器 [P].

张睿 ;

康婷 .

中国专利 :CN205175580U ,2016-04-20

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