MEMS压力传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510122591.8

申请日：

2025-01-24

公开(公告)号：

CN119803739A

公开(公告)日：

2025-04-11

发明(设计)人：

张鹏举刘汉青张郑欣郭蕾张佳立崔军蕊付和平田总福陈龙

申请人：

京东方科技集团股份有限公司北京京东方光电科技有限公司北京京东方技术开发有限公司

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G01L1/20

IPC分类号：

G01L9/06 G01L19/06 G01L19/14

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

孙璐璐

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01L 1/20申请日:20250124
2025-04-11	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

关荣锋 ;

田大垒 ;

赵文卿 ;

王杏 .

中国专利 :CN101738280B ,2010-06-16

[2]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

柳连俊 .

中国专利 :CN102156012A ,2011-08-17

[3]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

柳连俊 .

中国专利 :CN102183335A ,2011-09-14

[4]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

郑超 ;

许继辉 ;

于佳 .

中国专利 :CN104949776A ,2015-09-30

[5]

MEMS压力传感器的空腔制作方法 [P].

张亚娇 .

中国专利 :CN118811768A ,2024-10-22

[6]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

马清杰 .

中国专利 :CN117433671A ,2024-01-23

[7]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

马清杰 .

中国专利 :CN117433670A ,2024-01-23

[8]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

张毅 ;

薛世峰 ;

李琳 ;

贾朋 ;

叶贵根 ;

朱秀星 .

中国专利 :CN108731858A ,2018-11-02

[9]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

马清杰 .

中国专利 :CN117870916A ,2024-04-12

[10]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

周敬训 ;

罗守茹 .

中国专利 :CN108981982A ,2018-12-11

← 1 2 3 4 5 →