一种改良西门子法生产多晶硅工艺中氢气提纯装置

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专利类型
发明
申请号
CN202311492193.2
申请日
2023-11-10
公开(公告)号
CN117531327A
公开(公告)日
2024-02-09
发明(设计)人
袁川江 陈建宇 吴刚 沈锋群 杜秋实 梁强
申请人
清电硅材料有限公司
申请人地址
839000 新疆维吾尔自治区哈密市伊州区八一路德林名苑B11#-2号商铺
IPC主分类号
B01D53/00
IPC分类号
C01B3/50 C01B33/035 B01D53/02 B01D53/14 B01D53/18
代理机构
北京佳信天和知识产权代理事务所(普通合伙) 11939
代理人
卢楠
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
改良西门子法生产多晶硅工艺中除硼、磷的方法 [P]. 
唐前正 ;
何劲 ;
李钊 ;
郭勇 ;
赵伯君 .
中国专利 :CN101759186B ,2010-06-30
[2]
一种新型改良西门子法多晶硅生产工艺 [P]. 
梁晓阳 ;
王宁 ;
赵鹏 ;
季建波 ;
赵亚军 ;
杨伟强 .
中国专利 :CN116969467B ,2025-02-25
[3]
基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备 [P]. 
王西玉 .
中国专利 :CN104556042B ,2015-04-29
[4]
一种改良西门子法多晶硅生产设备电源电路 [P]. 
谭兵 .
中国专利 :CN105281426A ,2016-01-27
[5]
改良西门子法生产多晶硅中废弃氯硅烷的回收方法 [P]. 
张新 ;
郭勇 ;
王璜 ;
尹志兵 .
中国专利 :CN102372271B ,2012-03-14
[6]
一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置 [P]. 
潘玺 ;
燕军 ;
崔建平 .
中国专利 :CN203474472U ,2014-03-12
[7]
改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及设备 [P]. 
宋东明 ;
宋良杰 ;
方琼 ;
蒋万顺 ;
李才勇 ;
周祖萍 ;
沈宗喜 ;
丁丙恒 ;
章华 ;
邓亮 .
中国专利 :CN102989300B ,2013-03-27
[8]
改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺 [P]. 
唐前正 ;
张新 ;
李钊 ;
王璜 ;
卫雄 ;
山玉庸 .
中国专利 :CN101700466A ,2010-05-05
[9]
一种西门子法生产多晶硅工艺中还原炉的进料喷嘴 [P]. 
潘玺 ;
燕军 ;
崔建平 .
中国专利 :CN203474466U ,2014-03-12
[10]
一种改进的改良西门子法多晶硅还原炉底盘 [P]. 
赵丽丽 ;
宋爱利 ;
赵宏月 ;
张胜涛 .
中国专利 :CN106276915A ,2017-01-04